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潔凈室如何進行靜電測試?

時間:2020/7/6閱讀:3093
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1、表面電荷電位測量
(1)測量點或待測物體應按合同文件的規定。選擇測試儀要依據待測物體是絕緣體還是導體以及其物理尺寸。
(2)手持儀器探頭,其距接地的金屬板的距離按生產商的規定,將靜電計或場強計的讀數調為零。
(3)手持探頭使之與金屬板平行,與金屬板的距離按生產商的建議值。
(4)金屬板的表面積應足夠大,適合于所要求的的探頭開口,且金屬板足夠大,有合適的探頭與表面間距比率。
(5)按生產商的說明,使探頭接近物體表面,并測量表面電壓,或測量電場。記錄每個規定測點的測量值。
2、表面電阻測量
(1)具體測量條件按合同文件的規定。
(2)應按生產商的建議以正確的間距將兩個電極設置在表面上。用具有合適輸出電壓的歐姆計測量表面電阻。記錄下每個規定測量點的測量值。
(3)將一個電極接地,另一個電極應按生產商的建議放置在表面上。用具有合適輸出電壓的歐姆計測量表面電阻。記錄下每個規定測量點的測量值。
3、離子發生器測試
(1)測量點或待測物體應按合同文件的規定。
(2)工業標準中規定的測量電離器性能的儀器稱為帶電板監測器。它的基本組成是:一個已知電容量的孤立導電板,將板充電至已知電壓或使其電壓為零的電源,可測量板上的電壓及其達到預置水平的時間的測量手段。
(3)將CPM放在規定的測量點,用電源將孤立的導電板充電至已知電壓。
(4)隨著板上的靜電荷被電離器所減少,測量該板上的靜電壓降至10%初始電壓的時間,即放電時間。在每個規定的測量點記錄測量值。
(5)重復該步驟,將板充電至已知負電壓。在每個規定的測量點記錄測量值。
4、剩余電壓測量
(1)測量點或待測物體應按合同文件的規定。
(2)將CPM放在規定的測量點,將孤立的導電板接地以消除殘余電荷。如需要,將CPM讀數調為零。斷開接地連接。
(3)允許孤立的金屬板有充分的時間從電離器獲得電荷,且讀數穩定。記錄剩余電壓。

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