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潔凈室竣工驗收工作完成后，一般應由具有相關資質或相關授權、具有潔凈室檢測經驗、擁有完備的計量檢定合格的儀器、儀表的第三方來主持潔凈室的檢測工作。建設方、設計、施工、監理單位應在現場配合，以完成對潔凈室的綜合性能評價。
潔凈室綜合性能評價具有兩方面的功能：
（1）由第三方主持驗證新建或改建的潔凈室是否達到設計要求，能否正常運行并滿足所規定的污染控制標準，其結論較竣工驗收報告更具有公正性。
（2）所測定的潔凈室的初始性能，將作為該潔凈室性能的“基準”。將來不論是例行檢測還是出現問題時進行的測試，均可得到與初始測試結果的偏差。由此便于找出潔凈室性能不達標或出現其它問題的原因。
1、ISO-14644所規定的檢測項目
2、NEBB所規定的檢測項目
美國國家環境平衡局NEBB關于潔凈室性能測試所規定的測試項目如下：
（1）氣流速度和均勻性測試。
（2）高效空氣過濾器裝置的檢漏測試。
（3）房間塵粒數測試。
（4）隔斷壓差。
（5）溫、濕度均勻性測試。
（6）噪聲及振動測試。
（7）照度及均勻性測試。
（8）自凈測試。
（9）電導率測試。
（10）粒子沉積測試。
（11）靜電測試。
3、國內相關標準所規定的測試項目
國家標準GB 50073-2001《潔凈室廠房設計規范》及行業標準JGJ71-90《潔凈室施工及驗收規范》所規定的潔凈室測試項目如下表：
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