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四探針電阻測(cè)試儀的測(cè)試原理基于?電流-電壓分離測(cè)量法?，通過消除接觸電阻和引線電阻的影響實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。其核心工作原理如下：

一、四探針電阻測(cè)試儀基本測(cè)量原理

?探針布置與功能分工?
四個(gè)探針以直線或矩形排列接觸被測(cè)樣品表面，外側(cè)兩探針（1、4號(hào)）連接恒流源施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針（2、3號(hào)）連接高精度電壓表測(cè)量電勢(shì)差。

?電流探針?：驅(qū)動(dòng)電流注入樣品形成電場(chǎng)分布。

?電壓探針?：檢測(cè)非電流路徑位置的電壓差，避免接觸電阻干擾。

二、四探針電阻測(cè)試儀關(guān)鍵設(shè)計(jì)特性

?開爾文四線法優(yōu)化?
通過獨(dú)立電流回路和電壓測(cè)量回路，消除引線電阻和接觸電阻的影響，確保測(cè)量?jī)H反映樣品本身特性。

?探針配置適應(yīng)性?

?直線排列?：適用于大尺寸塊狀或板狀樣品，探針間距可調(diào)。

?矩形/正方形排列?：適合細(xì)長(zhǎng)條狀或棒狀樣品，減少邊緣效應(yīng)干擾。

?儀器硬件特性?

探針采用碳化鎢材質(zhì)，配合寶石導(dǎo)套和彈簧壓力裝置，確保接觸穩(wěn)定性和耐久性。

數(shù)字電壓表分辨率達(dá)0.1μV，支持自動(dòng)量程切換和極性調(diào)節(jié)。

三、四探針電阻測(cè)試儀適用場(chǎng)景與優(yōu)勢(shì)

?主要應(yīng)用?
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、金屬薄膜、陶瓷等材料的電阻率和方阻測(cè)量，尤其適合微區(qū)或局部電學(xué)特性分析。

?技術(shù)優(yōu)勢(shì)?

?非破壞性?：表面接觸測(cè)量，不干擾材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

?高精度?：修正系數(shù)（如η/F）可適配不同幾何形狀樣品，減小邊緣效應(yīng)誤差。

?環(huán)境穩(wěn)定性?：測(cè)量結(jié)果受溫濕度等外部條件影響小。

四、四探針電阻測(cè)試儀典型儀器結(jié)構(gòu)示例（以BEST-300C型為例）

?電氣模塊?：集成恒流源、高精度電壓檢測(cè)及數(shù)字處理單元，支持電阻率/方阻自動(dòng)切換顯示。

?機(jī)械結(jié)構(gòu)?：配備高度粗調(diào)/細(xì)調(diào)裝置和壓力自鎖機(jī)構(gòu)，確保探針接觸壓力均勻可控

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