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海德漢光柵尺h(yuǎn)eidenhain德國(guó)產(chǎn)品介紹
閱讀：340 發(fā)布時(shí)間：2023-4-6| 提 供 商 | 上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司 | 資料大小 | 4.9MB |
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海德漢光柵尺h(yuǎn)eidenhain德國(guó)產(chǎn)品介紹
計(jì)量光柵技術(shù)的基礎(chǔ)是莫爾條紋(Moire fringes),1874年由英國(guó)物理學(xué)家L.Rayleigh首先提出這種圖案的工程價(jià)值，直到20世紀(jì)50年代人們才開(kāi)始利用光柵的莫爾條紋進(jìn)行精密測(cè)量。1950年德國(guó)Heidenhain初次DIADUR復(fù)制工藝，也就是在玻璃基板上蒸發(fā)鍍鉻的光刻復(fù)制工藝，這才能制造高精度、價(jià)廉的光柵刻度尺，光柵計(jì)量?jī)x器才能為用戶所接受，進(jìn)入商品市場(chǎng)。1953年英國(guó)Ferranti公司提出了一個(gè)4相信號(hào)系統(tǒng)，可以在一個(gè)莫爾條紋周期實(shí)現(xiàn)4倍頻細(xì)分，并能鑒別移動(dòng)方向，這就是4倍頻鑒相技術(shù)，是光柵測(cè)量系統(tǒng)的基礎(chǔ)，并一直廣泛應(yīng)用至今。
德國(guó)Heidenhain公司1961年開(kāi)始開(kāi)發(fā)光柵尺和圓柵編碼器，并制造出柵距為4μm(250線/mm)的光柵尺和10000線/轉(zhuǎn)的圓光柵測(cè)量系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)1微米和1角秒的測(cè)量分辨力。1966年制造出了柵距為20μm(50線/mm)的封閉式直線光柵編碼器。在80年代又推出AURODUR 工藝，是在鋼基材料上制作高反射率的金屬線紋反射光柵。并在光柵一個(gè)參考標(biāo)
海德漢光柵尺h(yuǎn)eidenhain德國(guó)產(chǎn)品介紹
海德漢光柵尺的原理基于光學(xué)干涉。光柵上的編碼是一系列平行的透明和不透明條紋，當(dāng)光線穿過(guò)這些條紋時(shí)，會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象。讀取頭中的光電元件會(huì)檢測(cè)到這種干涉，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，從而確定物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。
海德漢光柵尺廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、自動(dòng)化控制、醫(yī)學(xué)和科學(xué)研究等領(lǐng)域。它可以測(cè)量高精度的位移、速度和加速度，具有精度高、可靠性好、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。在機(jī)床加工中，海德漢光柵尺可以用于測(cè)量工件的位置和旋轉(zhuǎn)角度，從而保證加工精度。在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，海德漢光柵尺可以用于測(cè)量人體運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，如步態(tài)分析和手術(shù)導(dǎo)航。
海德漢光柵尺h(yuǎn)eidenhain德國(guó)產(chǎn)品介紹
HEIDENHAIN海德漢光柵尺，也稱為HEIDENHAIN海德漢光柵尺位移傳感器（HEIDENHAIN海德漢光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。HEIDENHAIN海德漢光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測(cè)范圍大，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。HEIDENHAIN海德漢光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。
HEIDENHAIN海德漢光柵尺以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)HEIDENHAIN海德漢光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋" 。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。