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| 2XZ-0.5 | 2XZ-1 | 2XZ-2 | 2XZ-4 | 2XZ-8 | 2XZ-15 | |
| 抽氣速率（L/S） | 0.5 | 1 | 2 | 4 | 8 | 15 |
| 極限壓力≤(Pa) | 6.0×10 | 6.0×10 | 6.0×10 | 6.0×10 | 6.0×10 | 6.0×10 |
| 轉速（rpm） | 1440 | 1440 | 1440 | 1440 | 1410 | 1420 |
| 電機功率(kw) | 0.18 | 0.25 | 0.37 | 0.55 | 1.1 | 2.2 |
| 吸氣口徑（mm） | 16 | 16 | 25 | 25 | 40 | 40 |
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