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杭州波濤凈化設備工程有限公司

GMP車間凈化工程氣流流形的檢測步驟

時間:2016-6-20閱讀:3325
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   GMP車間凈化工程潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之凈化車間潔凈室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室。zui主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,GMP車間凈化工程無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
  GMP車間凈化工程氣流流形的檢測應按以下步驟進行:
  1垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各一個,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一個;水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區高度水平面各一個,以及距送、回風墻面0.5和房間中心處等3個橫剖面,所有面上的測點間距均為0.2m~1m;
  2)亂流潔凈室選擇通過代表性送風口中心的縱、橫剖面和工作區高度的水平面各一個,剖面上的測點間距為0.2m~0.5m,水平面上測點間距為0.5m~1m。兩個風口之間的中線上應有測點。
  2測定方法:用發煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向,并可用量角器量出角度,發煙源可用超聲波霧化(0.5um~50um水霧)的去離子(DI)水、噴射方法生成的乙醇或二醇、固態二氧化碳(干冰)等,在高強度光源下示蹤。在確保對人和物無傷害時可以四氯化鈦(TiCl4)作示蹤粒子。

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