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HO15/KDY-1A便攜式四探針電阻率測試儀技術參數

閱讀:380        發布時間:2014-12-3

概述

便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規定設計。

它主要由電器測量部份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。

為減小體積,本儀器用同一塊數字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供,隨時可進行校準,以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產品檢測。對1~100Ω•cm標準樣片的測量瓿差不超過±3%,在此范圍內達到國家標準一級機的水平。

測量范圍:

可測量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。

可測方塊電阻:0.1~1999Ω/口

當被測材料電阻率≥200Ω•cm數字表顯示0.00。

(2)恒流源:

輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔

10mA量程:0.1~1mA 連續可調

10mA量程:1mA ~10mA連續可調

恒流精度:各檔均優于±0.1%

適合測量各種厚度的硅片

(3) 直流數字電壓表

測量范圍:0~199.9mv

靈敏度:100μv

準確度:0.2%(±2個字)

(4) 供電電源:

AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W

(5) 使用環境:

相對濕度≤80%

(6) 重量、體積

重量:2.2 公斤

體積:寬210×高100×深240(mm)

(7)KD探針頭

壓痕直徑:30/50μm

間距:1.00mm

探針合力:8±1N

針材:TC

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