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BROOKS質量流量型號參數：

型號	流量范圍	精度	zui大力psig(bar)	輸入輸出	電源
SLA5800系列	3sccm - 2500slpm	1%,  0.7% ±0.2%FS.	4500 (300)	0-5Vdc, 4-20mA, RS485,	13.5-27 Vdc, 11-25 Vdc, 14-27 Vdc
5800S系列	3sccm - 2500slpm	0.7% ±0.2%FS.	4500 (300)	Profibus	15-24 Vdc
4800系列	50sccm - 40 slpm	+/-1%FS 或 +/-3%FS	150 (10)	0-5Vdc, 4-20mA, RS232 / RS485,	15-24 Vdc
5800E系列	3sccm - 1000slpm	1%FS	1500(100)	0-5Vdc	+/-15 Vdc
5800i系列	3sccm - 1000slpm	1%FS	1500(100)	0-5Vdc 4-20mA	15-24 Vdc
5800EM系列	3sccm - 100slpm	1%FS	1500(100)	0-5Vdc 4-20mA	+/-15 Vdc或 15-24 Vdc