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等離子刻蝕機的優勢

閱讀:879      發布時間:2023-5-18
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等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講,等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發生反應,反應的揮發性副產物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。發展是在反應室的內部安裝成擱架形式,這種設計的是富有彈性的,用戶可以移去架子來配置合適的等離子體的蝕刻方法:反應性等離子體(RIE),順流等離子體(downstream),直接等離子體(direction plasma)。
等離子刻蝕機的優勢:
等離子刻蝕機是利用高能電子轟擊氣體產生等離子體,利用其化學反應特性實現材料表面的加工。等離子體是一種帶電的氣體體系,其中電子、離子、原子和分子之間相互作用,從而產生各種化學反應。  
等離子刻蝕機中的等離子體可以通過兩種方式產生,一種是射頻電渦流放電,另一種是微波功率放電。射頻電渦流放電是在射頻電場作用下,氣體加熱變成等離子體,放電工作穩定,但是不能實現高密度等離子體。而微波功率放電則能產生更高密度、更強活性的等離子體,但是工作不太穩定。

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