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PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明
閱讀：857 發布時間：2022-11-16PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明
（真空至300 psig） - 930系列
930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導體行業中成為理想的應用。
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產生和截留,減少
半導體應用中的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供
穩定和免維護的使用壽命。930系列閥[門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和
泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean" 316L不銹鋼材質。Vericlean" 是派克
的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。930系列還提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE )，
聚醚醚酮樹脂( PEEK⑧)和聚酰亞胺( Vespel⑧)材質的閥座，可使930閥門與多種工藝流
體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產品在入口壓力高達300
psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。
930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關,用以提供開-關位置指示。還有多種閥體構造
可選,包括930Y系列( Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
930系列閥門上內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，
以適應在苛刻的UHP應用中, 保有其性能和穩定性。
市場:
半導體
分析實驗室
●制藥
， 生物制藥
●航空航天
.工業
PARKERUHP隔膜閥特點與優勢:
●電拋光表面光潔度: 5微英寸( Ra )
●高循環使用壽命(包括耐腐蝕性服務)
●內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留
●全壓力范圍使用:從真空到300 psig
●內部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe
.外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He
●AOP驅動,額定壓力為75 psig
PARKERUHP隔膜閥應用:
腐蝕性氣體和特種氣體
半導體工具
工具連接
燃氣柜.
閥組箱(VMB)