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PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明

（真空至300 psig） - 930系列

       930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導體行業中成為理想的應用。

       930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產生和截留,減少

半導體應用中的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供

穩定和免維護的使用壽命。930系列閥[門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和

泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean" 316L不銹鋼材質。Vericlean" 是派克

的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。930系列還提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE )，

聚醚醚酮樹脂( PEEK⑧)和聚酰亞胺( Vespel⑧)材質的閥座，可使930閥門與多種工藝流

體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產品在入口壓力高達300

psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關,用以提供開-關位置指示。還有多種閥體構造

可選,包括930Y系列( Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。

930系列閥門上內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，

以適應在苛刻的UHP應用中, 保有其性能和穩定性。

市場:

半導體

分析實驗室

●制藥

， 生物制藥

●航空航天

.工業

PARKERUHP隔膜閥特點與優勢:

●電拋光表面光潔度: 5微英寸( Ra )

●高循環使用壽命(包括耐腐蝕性服務)

●內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留

●全壓力范圍使用:從真空到300 psig

●內部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe

.外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He

●AOP驅動,額定壓力為75 psig

PARKERUHP隔膜閥應用:

腐蝕性氣體和特種氣體

半導體工具

工具連接

燃氣柜.

閥組箱(VMB)