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技術(shù)文章

NP25系列德國SPECK真空泵測量方式

閱讀:902          發(fā)布時間:2021-3-19

NP25系列德國SPECK真空泵測量方式
熱偶真空計:利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。
電離真空計:NP25系列德國SPECK真空泵由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
復(fù)合真空計:由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成,測量范圍從大氣~10-5Pa。
冷陰極電離計:NP25系列德國SPECK真空泵陽極筒的兩端有一對陰極板,在外加磁場作用,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
電阻真空計:利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過電橋電路來測量真空度的真空計。
麥克勞真空計:也成為壓縮式真空計,將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種真空計。
電容薄膜真空計:這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空。電容薄膜真空計將三種不同的規(guī)管綜合在個小型經(jīng)濟的規(guī)管中,測量過程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計由于具有測量精度高、動態(tài)響應(yīng)快、測量結(jié)果與氣體成分無關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點,因而越來越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計、油壓計、電阻真空計、熱偶真空計以至部分地取代電離計。

NP25系列德國SPECK真空泵壓強范圍
真空泵種類 工作壓強范圍(Pa) 起動壓強(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

NP25系列泵通過提供以下特性來保持這一質(zhì)量:
黃銅閥殼,標(biāo)準(zhǔn)型
固態(tài)陶瓷柱塞。
雙柱塞密封,帶回油口。
密封套中的所有墊圈可確保居中并易于更換。
相同的吸入和排出閥,易于更換。
鋁制曲軸箱。
泵易于配置,可左右驅(qū)動。

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