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| 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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光刻膠顯影機PRD405/408/409是自動批量顯影和沖洗晶片和光掩模上正性光刻膠工作站。光刻膠顯影機利用一個處理槽進行顯影和沖洗，以快速有效地處理晶片。快速填充和排空顯影劑水和直接注入水可精確控制循環時間。顯影劑被連續過濾并自動補充，溫度被精確保持，以實現可靠和可重復的過程。
光刻膠顯影機PRD405是理想的自動批量顯影和晶片和光掩模上的正抗蝕劑沖洗的解決方案,。快速填充和排空兩者顯影劑和去離子水提供精確控制循環時間。連續過濾顯影劑并自動補充，溫度降低準確維護，確保可靠性和可重復性過程.
光刻膠顯影機特點
最大適合6英寸晶片
高容量顯影劑填充，快速再現
晶片的厚度和設計可最大限度地減少發泡
溫度范圍為50~100F,分辨率為±0.3F
可調機械攪拌，均勻攪拌顯影
用于快速排空的大型快速排放閥顯影機周期結束時
六個DI水噴嘴，快速有效顯影周期終止
快速填充和傾倒直流水，實現快速循環
使用儲液罐顯影劑噴涂組件
從工藝罐和容器中排除水
顯影劑正態性的維持
顯影劑儲層的氮屏障
自動補充，用于維護
? 0.45μm顯影劑過濾
? 可編程微處理器控制
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