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等離子體光譜儀誤差的區分及其產生原因
等離子體光譜儀采用原子發射光譜學的分析原理，樣品經過電弧或火花放電激發成原子蒸汽，蒸汽中原子或離子被激發后產生發射光譜，發射光譜經光導纖維進入光譜儀分光室色散成各光譜波段，根據每個元素發射波長范圍，通過光電管測量每個元素的譜線，每種元素發射光譜譜線強度正比于樣品中該元素含量，通過內部預制校正曲線可以測定含量，直接以百分比濃度顯示。
系統誤差是指在一定試驗條件下由某個或某些因素按照某一確定的規律起作用而形成的誤差。它決定了測試結果的度，系統誤差的大小和符號在同一試驗中是恒定的，改變試驗條件時按照確定的規律變化。重復測定不能發現和減少系統誤差，只有改變試驗條件才能發現系統誤差。測定結果與真實值偏離的程度越小，測定結果越正確，系統誤差就越小。一旦發現有系統誤差，一定要找出原因，設法避免和校正。
隨機誤差是具有隨機性的誤差，出現這種現象是一系列偶然因素（如測定環境的溫度、濕度、振動、灰塵、油污、老化和儀器性能等）微小隨機波動造成的。如果對樣品只進行一次測定，其測定值可能比真值大也可能比真值小。它的出現決定了測定結果的精密度。隨機誤差是一種無規律性的誤差，在分析過程中總是存在的。其性質是有時大，有時小，有時正，有時負，而產生的原因又無法控制。所以只有通過多次測量并取平均值，才可以減小隨機誤差。
等離子體光譜儀是原子光譜的一種，有關原子光譜的種類參見第1章節有關內容。等離子體光譜儀是處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的譜線等離子體光譜法包括2個主要的過程，即：激發過程和發射過程。
(1)激發過程由光源提供能量使樣品蒸發、形成氣態原子、并進一步使氣態原子激發至高能態。原子發射光譜中常用的光源有火焰、電弧、等離子炬等，其作用是使待測物質轉化為氣態原子，氣態原子的外層電子激發過程獲得能量，變為激發態(高能態)原子。
(2)發射過程處于激發態(高能態)的原子十分不穩定，在很短時間內回到基態(低能態)。當從激發態過渡到低能態或基態時產生特征發射光譜即為原子發射光譜。一由于發射光譜與光源連續光譜混合在一起，且原子發射光譜本身也十分豐富，必須將光源發出的復合光經單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成可被檢測器檢測的光譜，儀器用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。