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2016-11-7 閱讀(1084)
賀德克壓力傳感器是目前進(jìn)口過來(lái)的壓力傳感器中的*！目前應(yīng)用較為廣泛的壓力傳感器種類有：擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器、陶瓷壓阻壓力傳感器、濺射薄膜壓力傳感器、電容壓力傳感器、耐高溫特性的藍(lán)寶石壓力傳感器。但應(yīng)用的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。
賀德克壓力傳感器：壓電式壓力傳感器。
賀德克壓力傳感器壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應(yīng)。賀德克壓力傳感器壓電效應(yīng)是某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時(shí)，其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后，它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)，賀德克壓力傳感器這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。賀德克壓力傳感器當(dāng)作用力的方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變。相反，當(dāng)在電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些電介質(zhì)也會(huì)發(fā)生變形，電場(chǎng)去掉后，電介質(zhì)的變形隨之消失，這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)。
壓電式壓力傳感器的種類和型號(hào)繁多，賀德克壓力傳感器按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類。賀德克壓力傳感器膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。壓電元件支撐于本體上，賀德克壓力傳感器由膜片將被測(cè)壓力傳遞給壓電元件，再由壓電元件輸出與被測(cè)壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)。這種賀德克壓力傳感器傳感器的特點(diǎn)是體積小、賀德克壓力傳感器動(dòng)態(tài)特性好、耐高溫等。賀德克壓力傳感器現(xiàn)代測(cè)量技術(shù)對(duì)傳感器的性能出越來(lái)越高的要求。
例如用賀德克壓力傳感器壓力傳感器測(cè)量繪制內(nèi)燃機(jī)示功圖，賀德克壓力傳感器在測(cè)量中不允許用水冷卻，并要求傳感器能耐高溫和體積小。賀德克壓力傳感器壓電材料于研制這種壓力傳感器。石英是一種非常好的壓電材料，壓電效應(yīng)就是在它上面發(fā)現(xiàn)。比較有效的辦法是選擇適合高溫條件的石英晶體切割方法,例如XYδ（+20°～+30°）割型的石英晶體可耐350℃的高溫。而LiNbO3單晶的居里點(diǎn)高達(dá)1210℃，賀德克壓力傳感器是制造高溫傳感器的理想壓電材料。
賀德克壓力傳感器采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件，具有的計(jì)量特性。
賀德克壓力傳感器表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成：鈦合金測(cè)量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電賀德克壓力傳感器橋電路的藍(lán)寶石薄片，被焊接在鈦合金測(cè)量膜片上。被測(cè)壓力傳送到接收膜片上（接收膜片與測(cè)量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起）。在壓力的作用下，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后，其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化，變化的幅度與被測(cè)壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電，并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出（0-5，4-20mA或0-5V）。在絕賀德克壓力傳感器壓壓力傳感器和變送器中，藍(lán)寶石薄片，與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起，起到了彈性元件的作用，將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變，從而達(dá)到壓力測(cè)量的目的。
藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象；藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固，硬度更高，不怕形變；藍(lán)寶石有著非常好的賀德克壓力傳感器彈性和絕緣特性（ 1000 OC 以內(nèi)），因此，利用硅 - 藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件，對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性；藍(lán)寶石的抗輻射特性*；另外，硅 - 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件賀德克壓力傳感器，無(wú) p-n 漂移，因此，從根本上簡(jiǎn)化了制造工藝，提高了重復(fù)性，確保了高成品率。
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