WGL光電輪廓儀 介紹
1 WGL光電輪廓儀獲2007年BCEIA金獎，2007年度優秀產品獎，2006-2007年度科學儀器優秀新產品獎。號：ZL200610148202.6。
2 WGL光電輪廓儀采用非接觸、光學相移干涉測量方法，測量時不損傷工件表面，能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形，并分析計算出測量結果。
3 WGL光電輪廓儀適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度，標尺、度盤的刻線深度，光柵的槽形結構鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌，磁（光）盤、磁頭表面結構測量，硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。
4 WGL光電輪廓儀測量精度高，重復性好，具有非接觸和三維測量等特點，并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果。
5 WGL光電輪廓儀適用于各級測試、計量研究單位，工礦企業計量室，精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。
WGL光電輪廓儀 主要特點
6 儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習慣；
7 應用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質量；
8 用低壓電源代替高壓電源，節省了儀器成本；
9 用國產的代替德國進口壓電陶瓷，解決了關鍵部件的進口難題；
10 增加了自動步距和亮度校正程序，同時增加了局部放大三維立體圖功能。
WGL光電輪廓儀 技術參數
· 表面微觀不平深度測量范圍：在連續表面上,相鄰二象素之間沒有大于1/4波長的高度突變時：1000nm～1nm；相鄰二象素之間含有大于1/4波長的高度突變時：130nm～1nm；
· 測量的重復性：δRa≤0.5nm；
· 物鏡倍率：40×；數值孔徑：0.65；工作距離：0.5mm；
· 儀器視場：目視Φ0.25mm，攝象0.13×0.13mm；
· 儀器放大倍數：目視500×，攝象（計算機屏幕觀察）～2500×；
· 接收器測量列陣：1000×1000，象素尺寸：5.2×5.2μm；
· 測量時間/采樣（掃描）時間：1s；
· 儀器標準鏡：反射率（高）～50%，反射率（低）～4%；
· 照明光源：白熾燈6V 5W；
· 綠色干涉濾光片波長：λ=530nm，半寬度λ=10nm；
· 主顯微鏡升程：110mm；
· 工作臺升程：5mm；
· X、Y方向移動范圍：～10mm；
· 工作臺旋轉運動范圍：360°；
· 工作臺傾斜范圍：±6°；
· 操作系統：WGL軟件，Windows XP或2000系統；
· 電源：220V±22V，50Hz±1Hz；
· 外形尺寸：主機300mm×300mm×500mm，電源180mm×280mm×200mm；
· 儀器凈重：28kg。
產品相關關鍵字： 輪廓儀 WGL 光電輪廓儀
