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產品簡介
英國CamScan Apollo300場發射掃描電子顯微鏡
詳細介紹
Apollo300特點：
熱場發射肖特基電子光源
Through-Lens上位
二次電子/背散射電子探測器
可變能量技術 樣品室內無場工作
超長的燈絲壽命 （一般 15,000hrs，>25,000hrs可達）
超大樣品室，大承載10Kg重的樣品
主要技術參數
| 電子光源 | 高亮度肖特基源的熱場發射電子槍 |
| 分辨率 | 1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm（Through-lens detector） |
| 加速電壓 | 0.1kV – 30kV連續調節,步長100V |
| 放大倍數 | <10倍 至 >900,000倍，工作距離和高壓變化時進行*地補償 |
| 電子束流 | 高可達100nA |
| 光欄選擇 | 6孔光欄，高精度點擊選擇 |
| 探測器 樣品室內二次電子探頭 Through -Lens探頭 樣品室內BSE探頭 | E-T探頭僅用于樣品室高真空操作,幾何位置可調整 DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探頭 羅賓遜/4分割固體背散射電子探頭 |
| 真空系統 | TMP（渦輪分子泵）+2個離子泵，高壓和所有電子槍供給全部 與真空互鎖 |
| 樣品室尺寸 | 413mm寬x313mm深x313mm高. |
| 樣品臺移動 | 優中心6軸樣品臺. X=100mm，Y=100mm，（Y=150mm，選配），Z=50mm， Z’=10mm Tilt=-5～+90°， Rot=360° |
| 樣品臺載重 | 承載樣品的重量超過5公斤 |
| 樣品室接口 | 14個 |
| 防震系統 | 自動水平傳感器的氣墊裝置 |
| 自動特性 | 自動聚焦,消像散,亮度和對比度調整. 自動電子束對中.自動 電子束流檢測.真空檢測與調整 |
| 顯示器 | 雙顯示器，能形成雙幅橫向工作區 |
| 視頻獲取 圖像處理 | 6路優化像素噪音功能實現雙路獲取 樣品檢查模式帶有轉換/掃描圖像定位中心特性 全屏注釋和圖像測量功能 |
| 觸停報警裝置 | 標配 |
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| 可配附件 | |
| EDS, WDS, EBSD, CL， STEM，電子束消隱裝置，激光定位儀，電子槍隔離閥， Fastrac， 光學顯微鏡，冷臺，熱臺，拉伸臺 | |
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