勻膠機旋涂儀/旋涂儀/勻膠機 型號：DP-100
. 產品應用
DP-100型勻膠機（Spin Coater），是新代旋轉涂膜設備，具有速度度，主動式速度調控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學器件等域的表面涂膜藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物能涂層的制備。
二. 產品特點
1. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
2. 真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作，防止長期使用過程中膠液的侵蝕。
3. 接膠盤為PP材料經制作而成，接儲脫離基片的膠液，避免入設備內。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。
4. 旋轉臺采用鋁材制作，表面經過硬質氧化處理，耐摩擦同時避免劃傷基片底。防止膠液的腐蝕。
5. 勻膠過程自動分段程序控制。整個勻膠過程zui多可分十段行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可控制、連續可調。
6. 4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠程；
7. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間”zui多為99s，確保基片牢固吸附于旋轉臺后再行旋轉涂膜。勻膠成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”zui多為99s，確保安停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層成損傷。
8. 采用穩定的直流電機及驅動器，旋轉速度采用主動控制方式，區別于老舊的被動測速控制方式，從而使旋轉速度更。
9. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。
三. 參數
1. 旋涂速度：400～8000 rpm
2. 轉速調節度：1rpm
3. 每段加速時間：1～99 s
4. 每段勻膠時間：1～99 s
5. 預吸片時間：1～99 s
6. 解吸片時間：1～99 s
7. 鍍膜尺寸：5-100mm
8. 真空泵抽氣速率：60L/min
