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　　直讀火花光譜儀工作原理則是用電弧（火花）的高溫使樣品中各種元素從固態直接氣化并被激發而射出各元素的特征波長，用光柵分光后，成為按波長排列的“光譜”，這些元素的特征光譜線通過通過出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經儀器的控制測量系統將電信號積分并進行模/數轉換，然后由計算機處理，并打印出各元素的百分含量。

　　而X熒光光譜儀工作原理介紹用X射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。

　　二、分析特點的區別：

　　火花直讀光譜儀要求試樣具有導電性，且只能是固體樣品，簡單地說就是火花直讀只能分析金屬固體樣品中的元素。

　　而X射線熒光光譜儀由計算機控制，自動化水平高，分析速度快，它對樣品要求不高，可以分析粉末樣品、固體樣品、熔融樣品、液體樣品，不需要樣品具有導電性，金屬及非金屬樣品均可分析。從這點看出X熒光光譜儀適用范圍更廣。