電感耦合等離子體質譜儀由等離子體發生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管(稱為離子探測器或收集器)組成。
電感耦合等離子體質譜儀的等離子體：
1.射頻發生器: 40.68 MHz, 功率600- 1600W，1W 連續可調。射頻發生器為自激式，匹配自動進行，等離子體的功率通過反饋電路維持恒定。
2.射頻線圈采用氬氣冷卻。
3.具有通風感應功能，當沒有開通風而點火時，等離子體在10分鐘內自動熄滅，并在軟件診斷的炬管箱溫度給出提示。
4.每次點火前和點火后，炬管的位置都固定不動，無需炬管后退和調節。儀器應能夠使炬管在分析樣品的位置點燃等離子體，而無需在點燃等離子體后再移動到分析樣品的位置。
5.質譜儀后側無任何連接管路和電路，儀器可以緊貼著實驗室墻面來安裝和運行。
6.等離子體具有全彩色的觀察窗，通過觀察窗可以實時觀察錐孔和炬管中心管是否需要清洗。
7.互相反相的兩路射頻來維持等離子體并消除線圈與采樣錐之間的放電，無需屏蔽炬這樣的消耗品。
8.等離子體位置XYZ三軸全自動調節，定位精度優于50微米。
電感耦合等離子體質譜儀的進樣系統：
1.蠕動泵:內置的三通道蠕動泵以穩定樣品提升的流量。蠕動泵應由計算機控制，泵速0-48rpm連續可調。蠕動泵應安裝在與等離子體隔絕的儀器外部以避免化學侵蝕而損壞。蠕動泵滾柱應為不銹鋼材質。
2.蠕動泵與霧化器緊密相鄰以減小記憶效應。
3.一體化卡套式進樣系統組件，僅需%圈即可鎖緊或解鎖，無論用左，右手均能操作自如，炬管應為可拆卸式的設計。
4.霧室應直接連接到炬管的基座上，而無需在霧室與炬管之間使用傳輸管。
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