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　　薄膜導(dǎo)熱的使用方法固體和液體熱傳遞性質(zhì)的研究變得越來越重要。薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀在許多領(lǐng)域中，例如汽車、航空、航天、發(fā)電/能源工業(yè)、陶瓷、建材和玻璃行業(yè)等，需要對(duì)所用材料的熱行為進(jìn)行深入的研究。熱管理變得越來越重要，例如在能源價(jià)格上漲的背景下的節(jié)能建筑行業(yè)或?qū)ι嵋蟾叩陌雽?dǎo)體行業(yè)，尤其是在大規(guī)模集成電路上。

　　薄膜導(dǎo)熱的典型行為：

　　1、導(dǎo)熱系數(shù)隨溫度變化而變化

　　2、厚度對(duì)薄膜導(dǎo)熱系數(shù)有影響

　　3、淀積方法對(duì)薄膜導(dǎo)熱系數(shù)有影響

　　一般情況下薄膜材料導(dǎo)熱系數(shù)低于塊狀材料值，薄膜有效導(dǎo)熱系數(shù)減小的可能原因有三種情況：薄膜材料非化學(xué)計(jì)量和應(yīng)力引起微結(jié)構(gòu)缺陷；聲子邊界散射；襯底和薄膜層間邊界熱阻。由于薄膜層與襯底的熱膨脹系數(shù)不同，薄膜往往承受很大的應(yīng)力，薄膜層內(nèi)部存在微裂紋。在對(duì)其進(jìn)行加熱時(shí)，微裂紋會(huì)動(dòng)態(tài)擴(kuò)展。同樣，在薄膜縱向生長(zhǎng)時(shí)，由于橫向不連續(xù)，也會(huì)發(fā)生微裂紋的動(dòng)態(tài)擴(kuò)展。另外，生長(zhǎng)薄膜的襯底都要經(jīng)過拋光，拋光過程引起的擦痕也以微裂紋的形式傳播進(jìn)入薄膜。