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本儀器運用了第四代集成電路設計、生產。儀器采用熱電法測量硅單晶型號,配置了可自動恒溫的熱探筆,并由液晶器件直接發顯示N、P型。對于電阻率小于1000Ω.cm的硅片、塊以準確地鑒定出導電型號。
適用范圍
適合檢測硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等,生產多晶硅料的企業
適用于物理提純生產多晶硅料生產企業
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用于科研、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業
產品特點
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度提高
測量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
%特的設計能消除測量引線和接觸電阻產生的誤差, 測量的高精度和,寬的量程范圍
雙數字表結構使測量%,,操作%簡便
具有的測試數據查詢及打印功能
測量系統可實現自動換向測量、求平均值、,值、,值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高
采用進口元器件,留有%大的,系數,提高了測試儀的,性和使用壽命
測量電流采用高度穩定的恒流源(萬分之五精度),不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能,,測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
,參數
測量范圍
鍺:近本征鍺≤103 Ω?cm 硅≤103 Ω?cm
顯示方式: 液晶直顯
功 耗:30W
供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環境:溫度:23±2℃ 相對溫度:≤65%