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1、 使用幾何尺寸準確的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準確。
2、 控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，探針的小游移率。
3、 采用的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有立、準確的壓力。
4、 量具精度的硬質合金探針，在寶石導孔內穩定運動，持久耐磨。
二、用途
1、 測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻。
2、 測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。
三、探針間距
1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、 方形四探針…………… 1.00mm
3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
四、指標
1、 游移率
B…………… ＜0.5%
A……………＜0.3%
AA………… ＜0.2%
AAA…………＜0.1%
2、 間距偏差
B…………… ＜3%
A…………… ＜2%
AA………… ＜2%
AAA………… ＜1%
3、 針與導孔間隙：0.006mm
4、 探針材料：硬質合金（主成份：進口碳化鎢）或高速鋼
5、 探針壓力 標準壓力：6—10N（4根針總壓力）
小壓力：1.2—5N（4根針總壓力）
1牛頓（N）=101.97克
6、 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層）
7、 500V緣電阻：＞1000MΩ
