晶圓退火烘箱

無塵烤箱概述：

    無塵烤箱、潔凈烤箱。是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈無塵烘干設備。箱內空氣經耐高溫高效空氣過濾器反復過濾，使烘箱工作室內快速達到無塵狀態。

    工作室內溫度由溫控儀智能控制，具備自動恒溫及時間控制功能，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。

無塵工業烤箱詳細資料：

一．特點：

1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100/ Class 10

2.全周氬焊，無塵電熱器，機臺不產微塵；

3.特殊風路設計,熱風強壓經過高效過濾器再經導風裝置送風到工作腔體內,腔體內潔凈度、溫度均勻度十分準確。

二．執行與滿足標準

1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件

2.GB2423.2-1989試驗B

3用途

無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

三．產品技術參數

1.產品名稱及型號：無塵烘箱  COL-210

2.主要技術指標：

   2.1無塵等級： Class 100/ Class 10;

   2.2溫度范圍： 60～ +300℃；

   2.3溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;

   2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）

    2.5溫控精度：±0.1℃;

    2.6烘箱擱板為活動形式。

    2.7 工作尺寸：W600×H600×D500

    外部尺寸： W950×H1510×D1240

    2.8電源：380v , 50Hz，7.5Kw

四、完善的安全保護措施：

    漏電斷路器、

    控制線路保險絲裝置、

    超溫防止保護裝置、

    電熱過電流保護裝置、

    馬達過電流保護、

    機臺異常蜂鳴器警示

    逆向防止器、

    門安全開關

五、選購設備：

    6.1 可程式溫控器

    6.2六點溫度記錄儀

    6.3三色指示燈

    6.4烘烤架

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