要將被測信號顯示在示波器上，首先要用電纜或探頭將該信號連到示波器的輸入端，電纜或探頭本身會帶來變數(shù)和測量誤差，具體帶來哪些變數(shù)和誤差取決于多種因素，包括被測信號的頻率范圍、測量時的環(huán)境溫度、探頭或電纜自身質(zhì)量、連接方法以及老化或損毀程度。隨著示波器的性能日益提高，探頭變化的校正工作顯得愈加重要。示波器的實時帶寬愈高，對探頭或電纜引入的誤差進行校正的必要性愈高 。示波器行業(yè)中流行的校正方法都是用軟件或固化軟件來實現(xiàn)的，這樣做，給示波器硬件技術(shù)部分提供很好的靈活性，由于現(xiàn)代數(shù)字示波器都使用微處理器對波形進行后處理，因此該方法幾乎沒有什么副作用。
為方便討論，本文中所用的術(shù)語 “校準(zhǔn)（Calibration）”和“校正（Correction）”在某種程度上是通用的，只不過校準(zhǔn)的含義偏重在校正的設(shè)置過程，校正的含義偏重結(jié)果，換句話說，校準(zhǔn)過程結(jié)束后，將校準(zhǔn)結(jié)果施加到被測信號上就是校正。
“探頭”和“電纜”都被稱作示波器的附件，作用是將被測信號連接到示波器輸入端，但他們在實際測量中的電氣表現(xiàn)有本質(zhì)的區(qū)別。探頭一旦將被測信號和示波器連接起來，其承擔(dān)的作用是盡可能不影響被測器件自身，也就是說，被測器件的電壓或電流該怎樣走就怎樣走，但或多或少，仍會有少量信號能量會進入探頭，所以說，探頭會或多或少‘偷取’被測器件的信號能量，理想情況下是，‘偷取’的越少越好，一點都不‘偷’；電纜則*不同，電纜一旦將被測信號和示波器連接起來，被測信號會*經(jīng)過電纜，從一個點傳輸?shù)搅硪粋€點。換句話說，理想的探頭不會將被測信號背負或偷到自己身上，它只是一個電路的‘偷窺者’，盡量不影響被測對象，理想的電纜則將被測信號*背負到自己身上然后傳遞到示波器輸入端。在考慮用什么方法實現(xiàn)探頭和電纜的校正時，牢記上述區(qū)別才能事半功倍。典型的探頭包括有源探頭、無源探頭、差分探頭、引線以及接地延長引線，典型的電纜則是兩端帶有連接頭的50歐姆或75歐姆的傳輸線，連接頭可以是BNC、SMA、SMP或N頭等形式。
世界上沒有理想的探頭，因此明白一旦使用探頭，它就會從被測對象中或多或少地‘偷取’信號，改變了被測對象的行為，你必須把探頭及其附件對被測對象的影響考慮進去。在本文中，Vsource 表示未連接探頭市的電路信號電壓，Vin 表示探頭連上后的電路信號電壓，該電壓包含了探頭帶來的影響（探頭效應(yīng)），是探頭zui前端位置處的信號，Vout 表示經(jīng)過該探頭輸出端傳遞給示波器輸入端的信號。理解這些信號對于探頭校正的討論十分重要。
直流校正方法
示波器廠家一般都可對探頭作zui基本的校正——探頭增益和探頭偏置調(diào)整。探頭增益校正是通過調(diào)整示波器的刻度設(shè)置，以匹配對應(yīng)的直流值。換言之，儀器通過縮放垂直軸（電）來迫使Vsource 與Vout 匹配（僅適用于直流）。以安捷倫示波器為例，其內(nèi)部直流電壓源（一般是其“探頭補償”或“校準(zhǔn)輸出”信號）的源阻抗是 0 Ω，所以Vsource = Vin（探頭負載不會對電路造成影響）。注意，示波器在所有頻率上應(yīng)用增益校正（而非于直流頻率），以實現(xiàn)匹配。
直流校正表現(xiàn)為一條簡單的直線，即y = mx + b；要確定增益和偏置系數(shù)，用戶將給定探頭前端連接到儀器的校準(zhǔn)信號（通常稱為“探頭補償”或“校準(zhǔn)輸出”信號）。儀器在校準(zhǔn)開始后會輸出已知的直流電壓，并對比經(jīng)過探頭后在示波器輸入端的信號值。技術(shù)上說,確定增益和偏置系數(shù)m和b，只需施加兩個直流點，這對示波器不是個問題，事實上，示波器能夠施加更多的直流點。這些系數(shù)隨時間漂移的幅度通常不會太大，因此每年進行幾次探頭直流校準(zhǔn)就已足夠。
交流校正方法
示波器帶寬目前已經(jīng)提升到幾個甚至幾十個GHz 的水平，探頭的特性與頻率息息相關(guān)，因此直流校正方法對探頭不再可靠。“交流校正”指針對探頭特性隨頻率變化這一特點的校正方案，目的在于將探頭特性調(diào)整地與“理想探頭”一致。理想探頭在直流到帶寬這一頻率范圍內(nèi)，具有很平坦的頻響，頻率接近帶寬時開始出現(xiàn)電平衰減，在帶寬對應(yīng)的頻點（又成為-3dB點）上，信號電平衰減到原有信號的70.7% ，這樣的平坦頻響特性可zui大限度降低加載到所連接電路上的負載（參見圖 1a 和 1b）。探頭負載屬于復(fù)合阻抗，理想情況下為無窮大，這樣探頭不會對被測電路造成任何影響。但探頭制造商由于當(dāng)前物理學(xué)及其他方面的限制，無法生產(chǎn)出理想的探頭。堅固可用的探頭都有一定的物理尺寸，這會直接影響探頭的負載和頻響特征，而選用什么材料和何種設(shè)計則與成本相關(guān)。
圖 1a 理想探頭的頻率響應(yīng)：zui高可達到探頭帶寬的平坦響應(yīng)，在超出探頭帶寬范圍具有高衰減
圖 1b Agilent PrecisionProbe 圖顯示了1169A 探頭放大器（配有 E267 探頭）的探頭輸入阻抗。理想探頭在所有頻率上均具備zui大阻抗
如何定義探頭的頻率響應(yīng)？頻率響應(yīng)必須是輸入與輸出的某個比例，問題在于采用哪個輸入——Vin 還是 Vsource？換句話說，應(yīng)當(dāng)選擇探頭輸入端的電壓還是被測器件的電壓（未連接探頭時）？這個問題一度引發(fā)了示波器廠商之間的爭論。詳情可參閱安捷倫應(yīng)用指南 1491 和 Tektronix 技術(shù)簡報 60W-18324-0 [1, 2]。使用 Vsource 似乎是一個不錯的選擇，因為這代表沒有連接探頭時的信號（某種意義上指原始被測器件）。使用 Vsource 則需要已知被測器件的源阻抗，如不知就假定一個值。采用 Vsource 來確定探頭響應(yīng)的示波器廠家通常假設(shè)源阻抗為 25 Ω——這個假設(shè)有機會是對的，但有更大的機會是不對的，不同的被測器件特性不一樣。被測器件的阻抗很多時候無法知道或?qū)嶋H測量，即使可以測量，也不是每一個探頭使用者都理解其對測量的影響。使用 Vin來表征探頭響應(yīng)不需要假定被測器件的阻抗，避免了前提假設(shè)錯誤，因此可更地測量和評估被測對象，雖然該表征將探頭負載效應(yīng)包含了進去。將探頭作為“黑盒”系統(tǒng)進行表征，*可行的方法是避開‘被測器件阻抗’和 Vsrc這兩個參數(shù)，刻意要使用Vsrc 來定義探頭頻響實際上擴展了“黑盒”的概念，將被測器件也納到了黑盒中了。由于這個細微而重要的考慮，不同廠商的校正方案也將有所不同。
所有廠商都會對高帶寬探頭方案應(yīng)用頻率相關(guān)的“標(biāo)稱值”或工廠校正方案。校正方法會根據(jù)所連接探頭的型號或配置而變化，但確定校正的一般流程是相同的。在探頭和示波器開發(fā)過程中，廠商會對同一組器件執(zhí)行非常的測量，并對特征求平均值，創(chuàng)建一個代表探頭和示波器系統(tǒng)的校正濾波器。所有探頭都應(yīng)用相同的標(biāo)稱值校正，不考慮探頭序列號或條件。它僅校正系統(tǒng)設(shè)計和制造缺陷，不能校正漂移帶來的誤差或個體隨機差異性帶來的誤差。要運用這種校正方法，示波器用戶只需確保探頭系統(tǒng)配置正確，剩余工作可自動完成，該方法沒有什么不便之處。
由廠商執(zhí)行的交流校正方法
進一步改進校正精度的方法已經(jīng)出現(xiàn)，由示波器廠家執(zhí)行，廠家在生產(chǎn)探頭的時候，對每個探頭器件進行獨立測量，得到其特征參數(shù)，然后創(chuàng)建針對這一特定探頭的校正濾波器。事實上，我們使用安捷倫矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測量每個 InfiniiMax III 探頭放大器的 S 參數(shù)（用于描述線性網(wǎng)絡(luò)電氣特性的參數(shù)，通常應(yīng)用于射頻領(lǐng)域），并將這些參數(shù)存儲到探頭放大器的存儲器中。與使用探頭標(biāo)稱值校正不同，當(dāng)探頭連接到安捷倫示波器時，示波器可以馬上讀出該探頭前端放大器對應(yīng)的S參數(shù)，對測量結(jié)果進行校正。與標(biāo)稱值校正相比，即使生產(chǎn)過程導(dǎo)致個體特性不同，這種校正方法也能修正，能夠顯著提高精度，且不會為示波器用戶帶來任何額外的不便。如欲了解 S 參數(shù)的更多信息，請參閱安捷倫應(yīng)用指南 AN 154。
以上校準(zhǔn)都在工廠完成，沒有考慮探頭出廠后可能出現(xiàn)的探測系統(tǒng)變化。為此，安捷倫了“僅適用于探頭本身”的特征和技術(shù)指標(biāo)，示波器用戶可以單獨對這些指標(biāo)進行驗證，以確保探頭的性能與出廠時一致。謹慎的儀器用戶應(yīng)當(dāng)采用廠商推薦的驗證方法，定期驗證儀器精度。
除了工廠校準(zhǔn)個體誤差之外，還有許多其它因素也會明顯改變探頭的特性，這些因素在探頭的制造和驗證過程中無法進行預(yù)期與校正。首先一個變數(shù)是，探頭與被測器件的接觸部位，也就是探頭zui前端，這些都是無源附件。另一個變數(shù)是，部分示波器用戶會自己定制探頭或連接附件，這些探頭附件沒有經(jīng)過工廠校正，非廠家提供的探頭前端連接不包含工廠提供的 S 參數(shù)，因此需要更為的校正/校準(zhǔn)流程。
由用戶執(zhí)行的交流校正方法
由用戶執(zhí)行的交流校準(zhǔn)是確保探測測量的zui后一個校正步驟，也是zui的校正。安捷倫提供 N2809A PrecisionProbe 軟件和硬件套件。借助 N2809A PrecisionProbe，示波器用戶現(xiàn)在能夠執(zhí)行從探頭zui前端到示波器輸入端的系統(tǒng)級完整交流校準(zhǔn)。校準(zhǔn)僅需一個探頭夾具和三根SMA電纜，不必使用任何額外的儀器。示波器輸出一個快速邊沿信號以全面量測 Vsource、Vin 和 Vout（包括探頭負載效應(yīng)），并將探頭系統(tǒng)對應(yīng)的S參數(shù)測量結(jié)果輸入到其對應(yīng)的校正濾波器中，從而完成此次校準(zhǔn)。
用戶希望花在設(shè)置和校準(zhǔn)上的時間盡可能少，但又要保證探頭測量精度被校正，同時保持使用的靈活性。例如，用戶希望可以自由選擇交流校準(zhǔn)方法，不管是與Vout/Vsource 探頭響應(yīng)表征方法對應(yīng)，還是與Vout/Vin這一方法對應(yīng)，安捷倫的精密探頭和電纜工具都可以輕松做到，從而結(jié)束關(guān)于探頭響應(yīng)理論的無休止辯論。安捷倫的精密探頭和電纜校正工具可以將用戶的探頭性能校正到更高的帶寬，但注意提升帶寬會同時增加噪聲，該工具和交流校準(zhǔn)軟件可以生成阻抗圖和頻響圖，因此用戶可以直觀地了解探頭系統(tǒng)的實際性能，并根據(jù)自身的測量需求，在本底噪聲與帶寬等性能方面取折衷和平衡。
這里列舉幾個案例，用以闡述用戶使用精密探頭和電纜交流校正的實用性。由于在探頭zui前端處會產(chǎn)生較大的探測變數(shù)，用戶使用長線探頭附件時，例如安捷倫長線 ZIF 解決方案（配有 N5451A 探針的 N542 探頭），必須盡量控制導(dǎo)線長度和方位。否則，工廠校正方法可能因為探頭物理尺寸和空間方位的細微差別而導(dǎo)致測量精度降低。通過交流校正方法（例如精密探頭和電纜 PrecisionProbe技術(shù)），探頭用戶可以選擇的探頭物理尺寸和方位——不管導(dǎo)線是長或短，兩個測量點的距離是遠或近——都可以根據(jù)實情選擇合適的連接附件和方式，隨后對這一探頭連接系統(tǒng)進行校準(zhǔn)和校正，從而獲得極其的測量結(jié)果。
圖 2 安捷倫提供由用戶執(zhí)行的交流校準(zhǔn)（PrecisionProbe），可改進 1169A 探頭放大器（配有 N542 探測頭和 N5451A 長線 ZIF 探針）的測量精度
探頭廠商在 -3 dB 上帶寬，但這并不意味著高于其帶寬的頻率信息會被*濾除，很多時候只是被衰減的幅度加大而已，因此這些探頭可以以噪聲增加為代價來提升帶寬，例如 Agilent E267 差分探頭。該探頭在 -3 dB 時的*標(biāo)稱帶寬為 6 GHz，但其頻率響應(yīng)直至11 GHz 時才出現(xiàn)明顯滾降（如 PrecisionProbe 校正軟件所示）。使用安捷倫的精密探頭和電纜校正工具可以將E267 探頭前端的帶寬提升至 11 GHz ，代價是本底噪聲僅增加 20%，但能夠提供更的上升時間測量，因此您多了一個選擇，在需要的時候可以將探頭帶寬提升。
圖 3a PrecisionProbe 圖中，與 1169A 放大器配合使用的 Agilent E267 探測頭包含超出其 -3dB 帶寬點的信號內(nèi)容（淺藍色軌跡）
圖 3b 與 1169A 配合使用的 E267 可使用 PrecisionProbe 提高帶寬，以便更地追蹤快速邊沿。黃色軌跡表示未提高帶寬的探頭，此時探頭無法追蹤 11 GHz 輸入信號。通過 PrecisionProbe 提高帶寬后的同一個探頭（橙色軌跡）能夠更清晰地展示信號
探頭校正的陷阱
在選擇探頭校正方法時，應(yīng)當(dāng)避免多種錯誤理念和陷阱，這些理念和陷阱影響所有的校正方法，包括直流校正、交流校正以及用戶交流校正。zui需要注意的一個錯誤理念是認為探頭校正可以一定程度地改進低質(zhì)量探頭，這是一個誤區(qū)，低質(zhì)量探頭通常具有極不平坦的頻率響應(yīng)，有較大的波動，波動的波峰和波谷對應(yīng)的頻點若明顯低于探頭帶寬，在這些頻點上校正探頭頻響副作用會非常明顯，就是本底噪聲大幅增加，很多時候是不可取的。
另外，設(shè)計欠佳的探頭一般負載效應(yīng)很明顯，探頭校正無法消除該探頭與被測器件連接時產(chǎn)生的負載效應(yīng)，校正只能改變已經(jīng)顯示在示波器屏幕上的信號，若信號進入示波器之前已經(jīng)被探頭負載效應(yīng)改變太多，校正也無能為力。為了獲得對被測器件影響zui小的測量結(jié)果，探頭用戶應(yīng)近可能選擇高輸入阻抗的探頭，同時，用戶也應(yīng)了解用軟件的方法提升帶寬通常會帶來噪聲增加的后果（如圖 4 所示）。
圖 4 E267探頭帶寬提升會產(chǎn)生額外的測量噪聲。顯示屏顯示儀器在10 mV/格靈敏度時捕獲的 100 ns的VRMS 數(shù)據(jù)
憑借特定的探頭響應(yīng)定義及其校正方案，示波器能夠在屏幕上顯示上升時間短于實際被測信號的波形。例如，如果采用 Vout/Vsource 探頭響應(yīng)定義，Vin 可能會出現(xiàn)明顯的峰值以補償探頭負載效應(yīng)，但仍然會產(chǎn)生平坦響應(yīng)。在這種情況下，當(dāng)信號通過探頭時高頻內(nèi)容會會得到放大（相對于低頻內(nèi)容），并且探頭響應(yīng)會得到提升以補償因探頭負載導(dǎo)致的頻率下滑。這會“凸顯”快速邊沿的高頻內(nèi)容，使其獲得似乎高于被測信號（Vin）的速度。一些用戶希望看到被測器件具有快速的邊沿，但他們必須認識到探測系統(tǒng)所顯示的可能并不是實際狀況。通由用戶可操作的交流校準(zhǔn)（例如 Agilent PrecisionProbe），示波器用戶可以輕松地選擇探頭響應(yīng)的定義方法，避免不必要的理論爭吵；圖 5 顯示了采用Vout/Vsrc 和 Vout/Vin 定義方法的探頭響應(yīng)。
圖 ：PrecisionProbe 頻率響應(yīng)圖顯示了已校正傳遞函數(shù)的高頻峰值，探頭響應(yīng)通過 Vsrc 確定（深藍色軌跡）
圖 5b 相同探頭的上升時間差異，響應(yīng)采用多種方法計算。使用Vin 確定探頭響應(yīng)的黃色軌跡波形已校正，而橙色軌跡波形使用的是Vsrc。橙色波形的下降時間要比實際被測信號快
用戶可操作的交流校正方法是使用夾具對用戶的探頭進行校準(zhǔn)和校正，因此校正時使用的探頭設(shè)置和附件必須盡可能與實際設(shè)置一致，否則校正可能是無意義的，也就是說，校正和實際測試時，所使用的探頭、前端或附件長度與空間方位間隔應(yīng)該*相同。
探頭校正方法十分復(fù)雜，并且其復(fù)雜程度將隨著探頭和示波器性能的增強而加深。校正方法有三個進階，入門進階是用戶定期對探頭進行直流校準(zhǔn)，第二進階是使用由工廠完成的交流校正方法來改進測量精度。第三進階，也就是對于探頭要求很高的用戶，是使用用戶可操作的交流校準(zhǔn)（即 安捷倫的 Precision Probe套件），以改進測量并降低探測工作的復(fù)雜程度。了解不同的探頭校正方法及其細微差別可以確保探頭用戶獲得zui高的測量保真度。
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