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高純水/超純水水質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)是什么
閱讀：4145 發(fā)布時(shí)間：2012-11-22
純凈水，指的是不含雜質(zhì)的H2O。
從學(xué)術(shù)角度講，純凈水又稱(chēng)純水、高純水，是指化學(xué)純度*的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用zui普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒(méi)有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，通常水的純度是以其電阻率（或電導(dǎo)率）來(lái)表證；也有根據(jù)用戶(hù)的需求來(lái)規(guī)定。
一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽(yáng)離子是應(yīng)該被去除的。細(xì)菌、懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷?。目前水質(zhì)要求zui高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同水質(zhì)要求也不一樣，其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下：電阻率大于18.2兆歐（25攝氏度）；TOC（總有機(jī)碳）小于1到10ppb，DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（顆粒）：0.05微米小于200個(gè)/升；離子含量大部分是小于20到50ppt；細(xì)菌檢測(cè)：無(wú)。但對(duì)于高純水來(lái)說(shuō)這是不確切的，應(yīng)檢測(cè)純水中某項(xiàng)雜質(zhì)的含量來(lái)表證。這是因?yàn)椋?影響高純水電阻率的主要因素是PH，而不是ppt即10-11M級(jí)雜質(zhì)，電阻率是衡量水中電解質(zhì)總和的參數(shù)，不能表證某一單項(xiàng)雜質(zhì)的含量，而對(duì)于高純分析所關(guān)心的不是雜質(zhì)的總含量，而是我們所要分析的某單項(xiàng)雜質(zhì)該元素的含量，即空白值，這顯然不能由電阻率給出的，總之，對(duì)于高純水如果仍以電阻率衡量其水質(zhì)，將會(huì)造成錯(cuò)覺(jué)。因此，我們以無(wú)焰原子吸收光譜法檢查純水的單項(xiàng)雜質(zhì)含量來(lái)表證其水質(zhì)，這樣可確切地反映水的純度。而高純水的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國(guó)高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí)，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。
從學(xué)術(shù)角度講，純凈水又稱(chēng)純水、高純水，是指化學(xué)純度*的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用zui普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒(méi)有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，通常水的純度是以其電阻率（或電導(dǎo)率）來(lái)表證；也有根據(jù)用戶(hù)的需求來(lái)規(guī)定。
一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽(yáng)離子是應(yīng)該被去除的。細(xì)菌、懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷?。目前水質(zhì)要求zui高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同水質(zhì)要求也不一樣，其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下：電阻率大于18.2兆歐（25攝氏度）；TOC（總有機(jī)碳）小于1到10ppb，DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（顆粒）：0.05微米小于200個(gè)/升；離子含量大部分是小于20到50ppt；細(xì)菌檢測(cè)：無(wú)。但對(duì)于高純水來(lái)說(shuō)這是不確切的，應(yīng)檢測(cè)純水中某項(xiàng)雜質(zhì)的含量來(lái)表證。這是因?yàn)椋?影響高純水電阻率的主要因素是PH，而不是ppt即10-11M級(jí)雜質(zhì)，電阻率是衡量水中電解質(zhì)總和的參數(shù)，不能表證某一單項(xiàng)雜質(zhì)的含量，而對(duì)于高純分析所關(guān)心的不是雜質(zhì)的總含量，而是我們所要分析的某單項(xiàng)雜質(zhì)該元素的含量，即空白值，這顯然不能由電阻率給出的，總之，對(duì)于高純水如果仍以電阻率衡量其水質(zhì)，將會(huì)造成錯(cuò)覺(jué)。因此，我們以無(wú)焰原子吸收光譜法檢查純水的單項(xiàng)雜質(zhì)含量來(lái)表證其水質(zhì)，這樣可確切地反映水的純度。而高純水的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國(guó)高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí)，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。