| 名稱 | 一級 | 二級 | 三級 |
| pH值范圍（25℃） | - | - | 5.0-7.5 |
| 電導率（25℃）,mS/m | ≤0.01 | ≤0.10 | ≤0.50 |
| 比電阻（MΩ.cm.25℃） | ≥10 | ≥1 | ≥0.2 |
| 可氧化物質[以（0）計]，mg/L | - | < 0.08 | < 0.40 |
| 吸光度（254nm,1cm 光程） | ≤0.001 | ≤0.01 | - |
| 蒸發殘渣（105±2℃），mg/L | - | ≤1.0 | ≤2.0 |
| 可容性硅[以（sio2）計]，mg/L | < 0.01 | < 0.02 | - |
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