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我國傳感器微系統技術發展取得突破性進步

時間:2011-6-9閱讀:3165
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  6月6日,第16屆固態傳感器、執行器與微系統會議(Transducers’11)在北京開幕,來自美國、德國、日本、法國、英國、西班牙、中國等39個國家和地區的專家、學者近1500人出席了大會。
  “如今,物聯網已被列為國家戰略性新興產業之一,是新一代信息技術的綜合應用,將在環境監測、醫療健康、公共安全、能源、交通等諸多領域發揮重要的作用。”本次大會主席、中國科學院電子學研究所夏善紅研究員介紹,物聯網主要有感知層、網絡層和應用層三個組成部分,而感知層的支撐技術就是微傳感器與微系統技術。“Transducers’11會議主要研討微傳感器、執行器與微系統領域中相關的理論、設計、材料、制造、應用等方面的前沿動態和關鍵技術,它對我國物聯網感知層技術的發展具有重要的推動作用。”
  近些年,中國在傳感器與微系統技術領域的科研和技術發展取得了長足的進步,影響力日益提高。Transducers會議錄用的中國大陸論文已從2001年的寥寥2篇增加到本屆會議的74篇。科技部副部長曹健林指出,傳感器、執行器與微系統是近年來興起的高科技領域之一,許多國家都把它列為優先發展的關鍵技術。中國自上世紀80年代以來,一直將其列入國家發展的重要方向之一,先后建立了“傳感技術聯合國家重點實驗室”、“國家傳感技術工程中心”等*研發機構。科技部高度重視微納技術的發展,在863計劃中設有MEMS(微機電系統)專項,建立了若干MEMS加工平臺,重點面向我國國民經濟發展急需的傳感器與微系統進行研究開發,取得了一批重要的研究成果,培養了研究隊伍,催生了一批新興的MEMS企業。
  據中科院院士王立鼎和西安交大副校長蔣莊德介紹,我國目前活躍在傳感器與微系統技術領域的企業約有上千家,整個產業水平在逐步提升。

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