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光譜儀常用的光源有電弧、火花、激光、等離子炬及火焰等。光源的類型極大地影響發射光譜的模型及譜線51度。光源的作用是提供足夠的能量，將元素從試洋中激發、解離為氣態原子，并將氣態睞子激發發光。

火花放電的性質決定火花放電的特點

(1)激發溫度高因為火花放電的電流密度很大，使激發溫度可高達20000-40000K。適于做難激發元素的分析。

(2)離子線強度高，原子線強度低因為激發溫度高，原子發生強烈電離之故。

(3)背景大因為激發溫度高，有空氣組分譜線出現。

(4)蒸發溫度低因為火花放電電流具有斷續的性質，放電停息時間長，所以，電頭的溫度不高。蒸發溫皮低，使單位時間內蒸發進入分析間隙的試樣覽少，所以，靈敏度低。

(5)適于低熔點金14或合金、易揮發元素及高含量元索的分析，分析結果再現性好。