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實驗內容：

1、剪切干涉測試光路搭建及調整實驗；

2、初級球差典型剪切干涉圖樣觀測實驗；

3、測量用相機系統標定實驗；

4、球差鏡頭初級像差系數測量實驗；

5、測試光路軸向離焦量測量實驗。

主要設備參數：

1. 光源組件：

氦氖激光器：P>1.5mW，TEM00，全保護安全高壓插頭，*關設計（安全鑰匙、按鍵）符合CE標準。

2. 測試組件：

測試鏡頭：Φ40mm，孔徑光闌Φ2～29mm。

3. 機械組件：

精密光學導軌：L×W=1200mm×90mm，配套滑塊、一維移動滑塊、調節支座、支桿；高精度調節鏡架穩定性；

一維精密移動臺：行程13mm，精度0.005mm，直線性<5μm 。

4. 光學組件：

成像鏡頭：f=16mm ，F1.4；

光學平晶：Φ50mm，Tc=20mm ，平行度<2" ，面型λ/10，光潔度IV級。

5. 探測器組件：

數字CMOS相機：130萬像素，像素大小5.2μm×5.2μm，USB2.0，A/D:10bit。

6. 空間濾波器組件：

40×顯微物鏡，15μm針孔，高精度三維調節機構，微調精度0.002mm。

7. 軟件組件：

圖像采集與保存模塊，相機標定模塊，初級像差測試模塊，USB2.0軟件鎖。

8. 講義及快速安裝指南。

選配設備參數：

1、儀器設備防塵罩：

外形尺寸：1400mm×360mm×300mm；

觀察窗材料：亞克力透明擋板。

2、計算機（基本配置）。