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美國Biofore公司的ProCleaner的產品線提供非常有競爭力的價位,并給研究者提供更多的選擇機會。該ProCleaner ™裝置的核心是低壓石英汞燈,產生254和185nm范圍的紫外線。UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單、經濟、快速獲得超潔凈的表面,去除大多數無機基材(比如石英、硅片、金屬、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物等)上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時,紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表面,只需要在傳統清洗后,再用紫外臭氧清洗機處理幾分鐘就可以了。
紫外臭氧消毒機|美國Biofore PC440|PC450:
1、間歇式燈泡工作方式。燈和定時器通過關閉門來觸發
2、低壓石英水銀蒸汽燈發射254nm和185nm UV,促進快速氧化,去除微量的有機殘留物。
3、全面UV保護讓設備操作更安全
4、操作簡單:設定定時器,打開門,抽出托盤,將元件放在托盤上。將托盤滑入并關閉門
5、為實驗室節省開支,使探針和樣品可重新使用
6、堅固耐用,結構緊湊(體積小)
7、低壓石英水銀蒸汽燈發射254nm和185nm UV,促進快速氧化,去除微量的有機殘留物。
8、室溫操作
ProCleaner紫外臭氧清洗儀紫外臭氧消毒機|美國Biofore PC440|PC450應用領域:
·預處理表面圖案化工具
·清潔硅和氮化硅探針
·晶圓清洗
·表面氧化及制備
·提高表面親水性
·表面清洗
·制備薄膜沉積
·紫外光固化
·表面圖案化
·清洗光學鏡頭
·粘接硅橡膠
·表面消毒
·清潔MEMS器件
技術參數:
型號 | PC440 | PC450 |
光照尺寸 | 4" x 4" (101.6×101.6mm) | |
有效面積: | 16 sq. in. | |
工作區域: | 5" x 5"x1" | |
滑行托盤: | 1 | |
定時器: | 機械定時 | 機械定時 |
紫外臭氧清洗工作原理:
ProCleaner紫外臭氧清洗儀的核心是低壓石英汞燈,產生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產生,有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解。激發的有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體,比如CO2,H2O等。整個過程在室溫中進行,并且只需要1到幾分鐘完成。
*注1:白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現象是由于基材吸收UV能量, 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉化為他原來的顏色。
**注2:清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用,元件溫度可以視為室溫。
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