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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：106 發(fā)布時(shí)間：2020/10/19
涂覆方形或矩形基板是一個(gè)挑戰(zhàn)
JINQUE居中既困難又費(fèi)時(shí)
基板的邊角沒(méi)有支撐
旋轉(zhuǎn)時(shí)，會(huì)使腔室內(nèi)產(chǎn)生氣流
涂料在基板邊緣難以形成均勻的膜
嵌入式托盤(pán)有一個(gè)凹槽，可容納您的基板
可確?；迕看味寄芸焖伲昝赖鼐又?br />
嵌入式托盤(pán)是根據(jù)特定基板的尺寸大小定制的
將基板表面升至托盤(pán)上方防止邊緣堆積
現(xiàn)在，涂料就好像在圓形基板上流動(dòng)一樣
涂層均勻一致，覆蓋范圍廣
