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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：205 發(fā)布時(shí)間：2020/10/19
等離子去膠辦法，去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中，通入少量氧氣，加到1500V高壓，由高頻信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號(hào)，使石英管內(nèi)形成強(qiáng)的電磁場(chǎng)，使氧氣電離，形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱。活化氧（活潑的原子態(tài)氧）可迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發(fā)性氣體，被機(jī)械泵抽走，這樣就把硅片上的聚酰亞胺膜去除了。等離子去膠的優(yōu)點(diǎn)是去膠操作簡(jiǎn)單、去膠效率高、表面干凈光潔、無(wú)劃痕、成本低、環(huán)保。
Tergeo等離子系統(tǒng)可以測(cè)量等離子發(fā)射光強(qiáng)度。等離子體發(fā)射光隨不同的氣體種類而變化很大。在氧等離子體光致抗蝕劑灰化過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生CO，CO2，H2O型副產(chǎn)物，這會(huì)大大改變等離子體的發(fā)射強(qiáng)度。因此，可以通過(guò)監(jiān)視等離子體發(fā)射強(qiáng)度來(lái)監(jiān)視灰化過(guò)程的進(jìn)度。
