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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：359 發布時間：2020/10/10
1、按照設備操作方法規范使用設備；（如相關設備使用文檔資料遺 失可聯系我司售后工程師。） 2、留意實驗室電壓是否穩定，電壓不穩可能會導致設備保險絲熔斷 以及射頻燈源損壞； 3、定期清潔真空腔內壁，以免內壁上的污染物積累成為污染源； （真空腔內壁清潔方法可參見標準實驗室玻璃器皿清潔方式，如： 可用無塵布/無塵紙蘸一點酒精、丙酮或異丙醇輕輕擦拭內壁表面。 如果用標準的實驗室玻璃器皿清洗方法不能去除污染物和污染物影 響等離子體實驗時，等離子體腔室可能需要更換。） 4、平時注意真空泵-等離子腔體尾部的管路連接件以及三通閥與艙 門的接口處是否松動，如有松動請及時擰緊。 5、不建議將等離子和真空泵連續運行時間超過 1 小時的處理，且在 處理完畢后，設備的主電源應關閉，以防止過熱和可能的損壞； 6、配套油泵泵浦系統留意泵油顏色和油位變化，并及時添加和更換 泵油；配套干泵泵浦系統若實驗室濕度高需要定期排水汽，使用時 間達到 5000 小時建議做一次維護保養； 7、當真空腔室內處于低壓狀態時，不要強行打開前蓋艙門，因為這 會損害真空腔室。 8、請勿將輸入電流要求超過 7 安培的真空泵電源線插頭接入等離子 清洗機后部真空泵電源接口；
