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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：1393 發布時間：2020/09/15
Q：發現試驗效果不佳，怎么辦？
A：請查看泵油顏色是否暗淡，污濁，并及時更換泵油。
Q：設備不起輝光怎么辦？
A：1. 射頻燈未能提供射頻；
2. 密封性可能存在漏氣問題。
Q：如何排查射頻燈問題？
A：使用設備標配的測試燈管，放入主機腔體內，打開“RF”開關至“Hi”檔，通過觀察燈管狀態判斷射頻燈問題（此過程不需抽真空）。
Q：密封性問題如何解決？
A：1. 確保使用的真空泵能夠達到或超過小抽速1.4立方米每小時和極限負壓不大于200mTorr；
2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進氣管路連接件是否正確并擰緊，等離子清洗艙門是否正確關閉，門密封圈的地方是否清潔無缺陷。
Q：是否有建議的清洗工藝參數？
A：射頻功率等級應設置為中檔或高檔，600-800毫托壓力和1-3分鐘處理時間是比較好的工藝參數的初始值，好的工藝參數值將取決于樣品材料和預期的應用，這需要一些實驗來確定這些值。
Q：如何測量真空負壓值？
A：可以找我們購買相對應的測量設備，比如：真空監視單元或氣體流量混合儀。
Q：為什么泵油會回流？
A：如果配套泵浦是油泵的話，當工藝處理完成后，設備艙體內部不立即減壓的話，油可能從真空油泵返流造成污染系統，我們建議使用有防回吸功能的真空泵。
Q：如何清洗真空腔內壁？
A：需定期清洗真空艙內壁、艙門以及O形圈，清洗方法請參見標準實驗室玻璃器皿清洗方法，如可用酒精、丙酮或異丙醇浸泡或輕輕擦拭等離子體腔室的表面。
