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高精度輪廓儀測量范圍 | X方向 | 150mm |
Z1（傳感器） | 25mm | |
高度 | 400mm | |
小內孔 | 30mm (換小測針可測更小內徑) | |
測量精度 | X方向 （L=X軸移動導軌距離） | ±（1.5+2L/100）μm |
Z方向 （H=Z軸方向測量高度） | ±（1.8+3H/100）μm | |
傳感器 | 類型 | 光柵傳感器 |
分辨率 | 0.05μm | |
產地 | 進口 (美國microe) | |
X軸 | 直線度 | 0.20μm /60mm |
分辨率 | 0.1μm | |
產地 | 進口 (美國microe) | |
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 | |
測量速度（輪廓） | 0.02mm至4.0mm/s | |
測量方式 | 傳感器移動 | |
工作壓力 | 0.35～0.43Mpa | |
氣源壓力 | 0.45～0.80Mpa | |
氣源流量 | ≥0.2 m³/min | |
電源 | AC 220V±10% 50Hz | |
環境要求 | 溫度：10～30℃；相對濕度：＜85% | |
該儀器為直角坐標測量法，觸針接觸式。機械部份采用精密氣浮直線運動導軌，建立X坐標的精密測量基準，Z坐標由電感傳感器構成，可以測量各種精密機械零件的素線形狀。本儀器由于基準直線運動采用精密氣浮導軌，故移動精度高、穩定性好、壽命長、而且運動靈活性好、直線性好、操作方便。運動距離采用進口光柵尺計量，X軸的尺寸坐標精確,數據采集及數據處理均采用計算機，故測試精度高、功能多，又可方便打印和存檔，為用戶帶來很大的方便。
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