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　　表面形貌儀是一款便攜式表面形貌測量儀，采用的白光共聚焦技術(shù)，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點，該儀器的測量探頭可以任意旋轉(zhuǎn)，適合精密測量 不可移動樣品表面形貌，同時適合進行野外測試。

 

　　本產(chǎn)品是利用白光點光源，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。根據(jù)準共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光，從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標，即X-Z坐標后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標。后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析。

　　應(yīng)用領(lǐng)域：

　　用于太陽能電池測量；

　　用于半導(dǎo)體晶圓測量；

　　用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness）測量；

　　用于機械部件的計量；

　　用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

 

　　產(chǎn)品特性：

　　1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率；

　　2、測量具有非破壞性，測量速度快，度高；

　　3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料；

　　4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面；

　　5、不受樣品反射率的影響；

　　6、不受環(huán)境光的影響；

　　7、測量簡單，樣品無需特殊處理。