XRF元素分析儀是指同時或單獨實現樣品中幾種元素的分析的儀器。各類元素分析儀雖結構和性能不同，但均基于色譜原理設計。其工作原理是在復合催化劑的作用下，樣品經高溫氧化燃燒生成氮氣、氮的氧化物、二氧化碳、二氧化硫和水，并在載氣的推動下，進入分離檢測單元。在吸附柱將非氮元素的化合物吸附保留后，氮的氧化物經還原成氮氣后被檢測器測定。其他元素的氧化物再經吸附-脫附柱的吸附解析作用，按照C、H、S的順序被分離測定。樣品中氟、磷酸鹽或大的重金屬物質的存在會對分析結果產生負效應，而強酸、堿或能引起爆炸性氣體的物質禁止使用元素分析儀進行測定。由于土壤樣品礦物質成分、晶：型結構比較復雜，為保證測定結果的準確性和穩定性，在使用元素分析儀時樣品顆粒必須充分均勻。
待測樣品在高溫條件下，經氧氣的氧化與復合催化劑的共同作用，使待測樣品發生氧化燃燒與還原反應，被測樣品組份轉化為氣態物質(CO2,?H2O,N2?與SO2)，并在載氣的推動下，進入分離檢測單元。
分離單元采用色譜法原理，利用氣相色譜柱，將被測樣品的混合組份CO2,?H2O,?N2?與?SO2?載入到色譜柱中。由于這些組份在色譜柱中流出的時間不同（即不同的保留時間），從而使混合組份按照N,C?H,S的順序被分離，被分離出的單組份氣體，通過熱導檢測器分析測量，不同組份的氣體在熱導檢測器中的導熱系數不同，從而使儀器針對不同組份產生出不同的讀取數值，并通過與標準樣品比對分析達到定量分析的目的。
XRF元素分析儀的有機分析：
元素分析儀作為一種實驗室常規儀器，可同時對有機的固體、高揮發性和敏感性物質中C、H、N、S、元素的含量進行定量分析測定,在研究有機材料及有機化合物的元素組成等方面具有重要作用。可廣泛應用于化學和藥物學產品，如精細化工產品、藥物、肥料、石油化工產品碳、氫、氧、氮元素含量，從而揭示化合物性質變化，得到有用信息，是科學研究的有效手段。
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