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X射線熒光分析(XRF)——是對任何種類的樣品進行元素分析的好分析技術，無論必需分析的樣品是液體、固體還是粉末。XRF可以將高的準確度和精密度與簡單和快速的樣品準備結合，對鈹 (Be) 到鈾 (U) 的元素喜遷分析，濃度范圍從 100 % 到低至亞 ppm 級。
作為一種確定各種材料化學組成的一種分析方法，XRF的被測材料可以是固體、液體、粉末或其它形式。XRF還可測定鍍層和薄膜的厚度及成分。XRF具有分析速度快、準確度高、不破壞樣品及樣品前處理簡單等特點。應用范圍廣泛，涉及金屬、水泥、油品、聚合物、塑料、食品以及礦物、地質和環境等領域，在醫藥研究方面，XRF也是一種非常有用的分析方法。
X熒光光譜儀可分為能量色散(EDXRF)和波長色散(WDXRF)兩大類，隨后將詳細介紹。可分析的元素及檢測限主要取決于所用的光譜儀系統。EDXRF分析的元素從Na到U； WDXRF分析的元素從Be到U。濃度范圍從ppm到100%。通常重元素的檢測限優于輕元素。
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