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  氣動測量儀的原理是通過與各種氣動測量頭或氣動測量裝置配套使用，用比較測量法對被測件的尺寸或形位參數進行精密測量。其測量方法是以壓縮空氣作為介質，利用空氣在管道中的流量或壓力隨管道的幾何尺寸和形狀變化的特性，將尺寸量或位移量轉換成流量或壓力的變化量，從而實現測量。

  氣動測量儀按工作原理分為流量式、壓力式、流速式等。其中，壓力式氣動量儀因易于發出信號，常用于主動測量；流量式、流速式適宜于靜態測量，多用作工序間檢測。