X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散為主。

1． 能量色散熒光光譜儀 
   能量色散型儀器的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。

2．波長色散熒光光譜儀
    此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多，特別是進口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業人員。
    波長型優點是用在原材料廠上，其測定的數據準確，給生產廠以確信的合格材料。
缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。

3．能量色散和波長色散原理上的區別：
   能量色散法是將X射線激發被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產生測量誤差。硬件決定了之后，儀器水平的高低，往往就在這里。
   波長法是因其激發出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。