CVD管式爐的產品特點及注意事項

閱讀：6916發布時間：2021-8-2

CVD管式爐產品特點：

1、控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。

2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司知識產權設計,提高操作便捷性。

3、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。

CVD管式爐使用注意事項：

1、冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現噴料現象，污染爐管。

2、定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。

3、使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。

4、爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷，屬正常現象。