日本And艾安德非接觸式靜電測(cè)量?jī)x AD-1684A

日本And艾安德非接觸式靜電測(cè)量?jī)x AD-1684A

一、產(chǎn)品核心創(chuàng)新

本設(shè)備突破傳統(tǒng)接觸式測(cè)量局限，采用三重平面感應(yīng)陣列技術(shù)，實(shí)現(xiàn)0.1-50mm非接觸檢測(cè)距離可調(diào)。關(guān)鍵創(chuàng)新包括：

1. 智能距離補(bǔ)償系統(tǒng)：通過(guò)激光輔助定位自動(dòng)校正測(cè)量距離誤差（±0.5mm精度）

2. 雙模式檢測(cè)：

• 靜電場(chǎng)模式：±0.01kV~±20kV量程（分辨率0.001kV）

• 離子平衡模式：±200V范圍（符合ANSI/ESD S3.1標(biāo)準(zhǔn)）

3. 工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)接口：支持Modbus RTU協(xié)議，可接入MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)追溯

二、實(shí)測(cè)性能參數(shù)

經(jīng)日本電子計(jì)測(cè)協(xié)會(huì)（JEMIMA）認(rèn)證：

• 響應(yīng)時(shí)間：0.3秒（90%量程）

• 溫度漂移：±0.005%/℃（5-35℃環(huán)境）

• 長(zhǎng)期穩(wěn)定性：±1%/年（標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)周期）

• 抗干擾能力：在30kV/m電磁場(chǎng)中誤差<3%

三、典型應(yīng)用驗(yàn)證

1. 半導(dǎo)體制造
   在12英寸晶圓檢測(cè)中：

• 識(shí)別0.5μm線路的靜電分布梯度

• 與接觸式測(cè)量?jī)x對(duì)比誤差<±2%

2. 醫(yī)療包裝
   完成FDA 21 CFR Part 11合規(guī)驗(yàn)證：

• 西林瓶表面電位映射（100點(diǎn)/分鐘）

• 數(shù)據(jù)完整性通過(guò)ALCOA+原則審計(jì)

3. 科研領(lǐng)域
   與AND GF-3000天平聯(lián)用：

• 實(shí)現(xiàn)μg級(jí)樣品的靜電-質(zhì)量耦合分析

• 發(fā)表3篇SCI收錄論文

四、服務(wù)體系

• 提供NIST可追溯校準(zhǔn)證書(shū)

• 可選配自動(dòng)掃描支架（行程精度±0.1mm）

• 中國(guó)區(qū)技術(shù)中心配備Class 1000級(jí)校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室