YP-150I YAMADA山田光學晶圓審核標準光源箱
| 參考價 | ￥ 30000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 美薩科技（蘇州）有限公司
- 品牌 YAMADA/日本雅瑪達
- 型號 YP-150I
- 產地 日本
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/6/16 17:53:29
- 訪問次數 138
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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 3萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
YAMADA山田光學晶圓審核標準光源箱 YAMADA山田光學晶圓審核標準光源箱
半導體晶圓檢查燈是半導體制造過程中的專業照明設備，專門設計用于晶圓生產過程中的缺陷檢測和質量控制環節。隨著半導體工藝節點不斷縮小（從微米級發展到現在的納米級），對晶圓表面缺陷的檢測要求越來越高，專業的檢查照明系統成為確保芯片良率的關鍵因素之一。
現代半導體晶圓檢查燈采用優良的光學技術和精密的光源設計，能夠提供均勻、穩定且特定波長的高質量照明，幫助檢測人員或自動光學檢測(AOI)系統識別晶圓表面的微粒污染、劃痕、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況。這些設備通常集成在潔凈室環境中，滿足半導體制造對潔凈度和穩定性的嚴苛要求。
半導體晶圓檢查燈的特點
1. 精密光譜控制
半導體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力，可提供特定波長的單色光或多色光組合。不同波長的光對各類缺陷的顯現效果不同，例如短波長光（如紫外或深藍光）對微小顆粒和表面拓撲結構更敏感，而長波長光可能更適合檢測某些薄膜缺陷。
2. 高均勻性照明
檢查燈設計確保照明區域內的光強分布高度均勻，通常均勻性可達90%以上，避免因照明不均導致的檢測誤差。優良的導光技術和光學擴散系統是實現這一特性的關鍵。
3. 可調光強與穩定輸出
設備提供寬范圍的光強調節功能，同時保持出色的光強穩定性（通常波動小于1%），確保長時間檢測過程中的一致性，避免因光強波動導致的誤判。
4. 多角度照明設計
專業的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項，包括同軸光、環形光、側向光、暗場照明等不同模式，以適應不同類型缺陷的檢測需求。例如，同軸光適合表面污染檢測，而暗場照明對劃痕和拓撲缺陷更敏感。
5. 潔凈室兼容性
檢查燈采用無塵設計，材料選擇上避免產生微粒污染，符合ISO 14644-1潔凈室標準。同時具備低發熱特性，減少熱對流對潔凈室氣流的影響。
6. 智能化控制
現代設備配備數字控制系統，支持預設照明方案、自動調節、遠程控制等功能，并能與自動檢測系統無縫集成，實現高效的工作流程。
YAMADA山田光學晶圓審核標準光源箱YP-150I
YAMADA山田光學高亮度鹵素光源設備YP-150I
YAMADA山田光學高亮度鹵素光源設備YP-250I
YP-150I 高亮度鹵素射鏡
用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測出來
| 特點】 1. 大于 400,000luxes的照明光線可容易檢測出只有精密探測儀才可測出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia). |
| 2. 使用鹵素燈作為光源，色溫高達3400°K，照光和顏色均一保證了穩定強光的照射。 |
| 3. 由于冷鏡的使用，使得熱影響與常規鋁鏡相比較少1/2 到 1/3 |
| 4. 光束直徑由鏡片調整，30-50mm 之間調整 |
| 5. 底部開光，調整照明勘察器高度，操作簡便，可控制光量。 |
| 高亮度鹵素射鏡 | ||
| YP-150I | YP-250I | |
| 照射范圍 | 30mmφ | 60mmφ |
| 照度 | ≥ 400,000 lｘ | ← |
| 照射距離 | 140mm | 220mm |
| 光源 | 鹵素燈(使用冷鏡) | ← |
| 燈型 | JCR15V150W | ELC24V250W |
| 壽命 | 50小時 | 35 小時 |
| 色溫 | 3,400K° | ← |
| 色調 | 白 | ← |
| 環境溫度 | 0～40℃ | ← |
| 冷卻方式 | 強制排氣 | ← |
| 連接 | 12φ | 20φ |
| 尺寸 | 100(W)×245(H)×116（D）mm | 120(W)×388(H)×130(D)mm |
| 重量 | 1.7 ㎏(17N) | 2.7 ㎏(27N) |
| 輸入電壓 | AC100V 50/60Hz | AC100V 50/60Hz |
| 功率 | 200W | 350W |
| 變化范圍 | AC5～12V | AC10～22V |
| 環境溫度 | 0～40℃ | ← |
| 冷卻方式 | 自然 | 強制排氣 |
| 尺寸 | 140(W)×94(H)×185(D)mm | 135(W)×72(H)×260(D)mm |
| 重量 | 2.4 ㎏ | 2 ㎏ |
| 其他 | 輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq (外加一插座) 輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq (外加一金屬連接器) 腳踏開關線:3m (底部金屬連接器) | 輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq (外加一插座) 輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq (外加一金屬連接器)<span none"=""> |
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