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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>色譜>氣相色譜(GC)> Thermo Fisher 潔凈室AMC在線監測系統

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Thermo Fisher 潔凈室AMC在線監測系統

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 賽默飛世爾環境與過程
  • 品牌 Thermofisher Scientific/賽默飛世爾
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/5/30 9:20:42
  • 訪問次數 74

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賽默飛世爾科技(紐約證交所代碼:TMO)是科學服務領域的世界領導者。公司年銷售額170億美元,在50個國家擁有約50,000名員工。我們的使命是幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。我們的產品和服務幫助客戶加速生命科學領域的研究、解決在分析領域所遇到的復雜問題與挑戰,促進醫療診斷發展、提高實驗室生產力。借助于首要品牌Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific和Unity Lab Services,我們將創新技術、便捷采購方案和實驗室運營管理的整體解決方案相結合,為客戶、股東和員工創造價值。欲了解更多信息,請瀏覽公司網站:www.thermofisher.com。

 

賽默飛世爾科技中國

賽默飛世爾科技進入中國發展已有30多年,在中國的總部設于上海,并在北京、廣州、香港、中國臺灣、成都、沈陽、西安、南京、武漢、昆明等地設立了分公司,員工人數約3700名。我們的產品主要包括分析儀器、實驗室設備、試劑、耗材和軟件等,提供實驗室綜合解決方案,為各行各業的客戶服務。為了滿足中國市場的需求,現有8家工廠分別在上海、北京和蘇州運營。我們在全國共設立了6個應用開發中心,將世界級的前沿技術和產品帶給國內客戶,并提供應用開發與培訓等多項服務;位于上海的中國創新中心結合國內市場的需求和*技術,研發適合中國的技術和產品;我們擁有遍布全國的維修服務網點和特別成立的中國技術培訓團隊,在全國有超過2000名專業人員直接為客戶提供服務。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。欲了解更多信息,請登錄網站 www.thermofisher.com。

 

聯系方式:

電話:800-810-5118, 400-650-5118(支持手機)

售前咨詢電子郵箱:sales.china@thermofisher.com

售后服務電子郵箱:cru.cn@thermofisher.com

 

 

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分析儀器,通用實驗室設備,環境監測設備,臨床診斷設備

產地類別 進口 價格區間 面議
適用行業 其他 儀器種類 在線
應用領域 電子/電池,電氣

AMC?

AMC氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空氣中的氣態化學物質或揮發性有機化合物(VOCs),可能對產品、制程或人員造成負面影響。這類污染物通常無法通過傳統的微粒過濾器(如HEPAULPA)去除,需要特殊控制措施。


AMC

根據Semi F21-1016標準中所定義,AMC分為MA(酸性物質/MB(堿性物質)/MC(凝結物質)/MD(參雜物質/MM(金屬物質)五大類,其中包含了常見的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。


AMC

AMC的來源相當廣泛,如制程使用的化學品、外氣所含的污染物、無塵室中建材釋出、人員排放等等。


AMC

微小的AMC物質進入無塵室后,可能造成蝕刻制程不良率提高、光阻劑變質、晶圓污染或氧化、光學鏡頭霧化等問題,甚至可能會影響到人體健康,因此,源頭管理、實時監測與控制污染物濃度的AMC管理將成為無塵室核心的研究課題之一。


AMC在線監測系統組成

一套完整的AMC在線監測系統,具有以下組成要件:

● 取樣系統:多流路取樣系統與取樣管路安裝,選擇不影響分析結果的材料,配合監測點規劃,有效了解無塵室整體環境情況。

● 分析儀:根據客戶需求不同,Thermo Fisher可提供多種在線分析儀配置,如NH3、H2S、VOCs、各種陰陽離子、特殊組分VOCs等,根據生產節點不同,去分析關鍵物質與對應濃度。

● 數據收集系統:將不同分析儀的數據匯整并顯示出各點位的歷史數據,再配合傳輸要求,可將數據傳輸至客戶接收端,配合報警系統,有效早期預判污染物的上升趨勢,進而調整無塵室濾材的更換頻次,大幅提高效率。



序號

分析儀型號

技術規格

產品應用


1


8000系列色譜分析儀

分析目標:TVOC

分析原理:FID

LDL:z低可達0.1ppb

可根據客戶需求訂制多種組分,如IPA、Acetone以及苯系物等常見溶劑,提前預警MC的危害。


2


Thermo Fisher 17i

分析目標: NO, NH3

分析原理:化學發光法 LDL:1ppb

NH3為半導體生產制程中常見特氣,具有強烈腐蝕性,17可有效監測快速響應NH3的濃度變化,還可同時測量NOx氮氧化物的濃度。

 

3

 

Thermo Fisher 450i

分析目標:H2S/SO2

分析原理:紫外脈沖熒光法 LDL:0.5ppb

硫化物可能會在空氣中形成硫酸鹽顆粒,水溶后會產生腐蝕性酸,450i可提供快速有效分析H2S/SO2濃度監測。

 

4

 

Thermo Fisher IC離子色譜

分析目標:各種陰陽離子

分析原理:離子色譜法 LDL:0.1ppb

以在線方式分析空氣中的各種離子態物質如F-、Cl-、NH4+等,提前預警離子態物質,降低對芯片的影響。

其他如 Online GCMS分析特殊有機物、Online ICPMS分析空氣中金屬離子等其他特殊需求請咨詢賽默飛應用專家。


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