Thermo Fisher 潔凈室AMC在線監測系統
- 公司名稱 賽默飛世爾環境與過程
- 品牌 Thermofisher Scientific/賽默飛世爾
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/5/30 9:20:42
- 訪問次數 74
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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適用行業 | 其他 | 儀器種類 | 在線 |
應用領域 | 電子/電池,電氣 |
AMC是什么?
AMC氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空氣中的氣態化學物質或揮發性有機化合物(VOCs),可能對產品、制程或人員造成負面影響。這類污染物通常無法通過傳統的微粒過濾器(如HEPAULPA)去除,需要特殊控制措施。
AMC的種類
根據Semi F21-1016標準中所定義,AMC分為MA(酸性物質/MB(堿性物質)/MC(凝結物質)/MD(參雜物質/MM(金屬物質)五大類,其中包含了常見的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。
AMC的來源
AMC的來源相當廣泛,如制程使用的化學品、外氣所含的污染物、無塵室中建材釋出、人員排放等等。
AMC的影響
微小的AMC物質進入無塵室后,可能造成蝕刻制程不良率提高、光阻劑變質、晶圓污染或氧化、光學鏡頭霧化等問題,甚至可能會影響到人體健康,因此,源頭管理、實時監測與控制污染物濃度的AMC管理將成為無塵室核心的研究課題之一。
AMC在線監測系統組成
一套完整的AMC在線監測系統,具有以下組成要件:
● 取樣系統:多流路取樣系統與取樣管路安裝,選擇不影響分析結果的材料,配合監測點規劃,有效了解無塵室整體環境情況。
● 分析儀:根據客戶需求不同,Thermo Fisher可提供多種在線分析儀配置,如NH3、H2S、VOCs、各種陰陽離子、特殊組分VOCs等,根據生產節點不同,去分析關鍵物質與對應濃度。
● 數據收集系統:將不同分析儀的數據匯整并顯示出各點位的歷史數據,再配合傳輸要求,可將數據傳輸至客戶接收端,配合報警系統,有效早期預判污染物的上升趨勢,進而調整無塵室濾材的更換頻次,大幅提高效率。