KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀是第八代臺式探針式輪廓儀，它凝結了逾40年的表面量測經驗。該行業的系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達200mm，無需拼接。

出色的測量穩定性通過結合UltraLite^® 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺實現。通過使用點擊式樣品臺控制、頂視和側視光學元件以及具有光學變焦功能的高分辨率相機，可快速輕松地設置程式。KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識別、序列和特征檢測實現全自動測量。

特征

• 臺階高度：納米級到1000微米

• 恒力控制：0.03至15mg

• 無需拼接即可掃描樣品的全直徑

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機

• 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

• 軟件：簡單易用的軟件界面

• 生產能力：具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能的全自動測量

應用

• 臺階高度：2D和3D臺階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲形狀

• 應力：2D和3D薄膜應力

• 缺陷檢測：2D 和 3D 缺陷表面形貌

工業

• 高校、實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發光二極管

• 太陽能

• MEMS:微機電系統

• 數據存儲

• 汽車

• 醫療器械