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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>其它測量/計量儀器>真空計>TTR101 Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計

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TTR101 Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計

參考價 5000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 杭州域勢科技有限公司
  • 品牌 Leybold/德國萊寶
  • 型號 TTR101
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/6/18 10:33:25
  • 訪問次數 843

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杭州域勢科技有限公司,專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力監測控制相關的技術服務及解決方案,公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案,旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。

我們代理經銷的品牌:ALICATVOGTLINMKSFischerKOBOLDVAT

我們的產品:

1.   熱式氣體質量流量計及控制器

2.   層流式質量流量計及控制器(氣體)

3.   液體質量流量計及控制器

4.   壓力控制器、壓力傳感器

5.   真空計及真空閥門

6.   真空配件及Feedthrough

我們服務的領域:

1.   生物制藥、生命科學研究

2.   工業自動化及汽車制造

3.   新能源制造(鋰電、光伏、氫能)

4.   半導體及泛半導體行業

5.   科研及航天航空研究

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

氣體質量流量計,液體質量流量計、壓力計,閥門、流量控制解決方案

測量原理 皮拉尼與電容薄膜 產地類別 進口
價格區間 2千-5千 量程 5×10?? 到1500mbar
應用領域 環保,生物產業,能源,制藥/生物制藥 真空接口 DN 16 ISO KF

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計(TTR101

性能特點

l測量范圍廣:測量范圍從 5×10?? mbar 1500 mbar,涵蓋了從粗真空到高真空的較寬范圍,可滿足多種真空應用場景的測量需求。

l精度較高:在 10mbar 1500mbar 的測量范圍之間,測量精度高,且不受被測氣體的影響,能夠提供準確可靠的測量結果。

l傳感器堅固耐用:其包含的 MEMS Pirani 傳感器元件和壓電傳感器元件都極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入,具有較好的穩定性和可靠性,適用于較為苛刻的工作環境。

l安裝位置不敏感:MEMS Pirani 傳感器由于其幾何形狀,空腔內無法進行對流,氣體分子只能通過擴散到達熱元件,因此傳感器對安裝位置并不敏感,方便在不同的系統中進行安裝和使用。

 

工作原理

該真空計結合了皮拉尼原理與電容薄膜原理。其中,MEMS Pirani 傳感器元件基于熱傳導性的測量結果,包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構成空腔的一個表面,芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面,通過測量氣體的熱損耗來反映真空度;壓電傳感器基于相對于集成式參考真空的硅膜機械偏轉測量結果,可獨立于氣體成分和濃度來測量真實的絕對壓力。

 

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計(TTR101

技術參數

l輸出接口:配備 RS232 數字通信接口和 EtherCAT 數字通信接口的變送器版本,可設置變送器參數,并可提供實時壓力測量結果。部分型號還帶有線性模擬 0-10V 輸出,可連接至外部模擬設備,用于獲取壓力讀數或進行壓力控制。

l顯示功能:部分型號配備集成式觸屏顯示器,能夠監控基本的變送器參數,方便用戶直接讀取測量結果和進行參數設置。

l繼電器功能:擁有多達三個機械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯鎖,可根據設定的壓力值自動控制相關設備的運行。

 

應用領域

l工業應用:廣泛應用于各種工業生產過程中的真空測量與控制,如真空鍍膜、真空干燥、真空包裝等領域,確保生產過程中的真空環境符合工藝要求。

l研發領域:在科研實驗中,可用于實驗室的真空系統控制、前級管道和粗抽壓力測量、氣體回填測量和控制等,為科研工作提供準確的真空度測量。

l半導體行業:在半導體制造過程中,如光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝中,對真空環境的要求很高,TTR101 真空計可用于精確測量和控制真空度,保證產品質量和生產效率。

l分析和涂料工業:在分析儀器如質譜儀、氣相色譜儀等中,可作為真空度測量的關鍵部件,確保儀器的正常運行和分析結果的準確性;在涂料工業中,可用于涂料的真空干燥和固化過程中的真空控制。


Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計




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