名稱：標(biāo)準(zhǔn)半球(計量檢測球)

貨號：Aubat-A253/30nm

參數(shù)：

   直徑約φ25mm

   P+V(圓度）≤30nm

廠家：奧本精密

了解非接觸式表面輪廓測量儀：

LUPHOScan850 HD

LUPHOScan: 適用于各種類型光學(xué)表面的非接觸式計量

3D光學(xué)計量儀器 ，精確測量非球面、衍射面和自由曲面等多種光學(xué)工件，可測量口徑高達(dá) ?850mm；用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面（光學(xué)器件）進(jìn)行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。該輪廓儀的主要優(yōu)點包括測量速度快，對一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點的輪廓）具有高度靈活性。

測量原理

當(dāng)被測光學(xué)鏡面旋轉(zhuǎn)時，光學(xué)測頭同時跟蹤著被側(cè)件的理論設(shè)計輪廓移動，進(jìn)而形成在整個測量面法線方向上的螺旋式掃描。這種技術(shù)能夠測量幾乎所有類型的光學(xué)面。

測量技術(shù)特點：

高度精確

• 能精確測量面形誤差且具備高度可重復(fù)性，面形誤差

精度可高達(dá)< λ/20 (PV99) 和 ≥5nmRMS*

測量范圍大靈活性高

• 測量口徑范圍可從5mm 到 850mm，測量高度范圍到210mm

高密度測量點

• 測量點數(shù)高達(dá)600萬，以用于精確測量和分析大口徑的中頻面形誤差

自由曲面的檢測

• 對回轉(zhuǎn)非對稱面可測量整個園周的大斜度變化到±8° (徑向斜度到90°)

幾乎能測量所有的材料

• 透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面

以提高測量精度和重復(fù)再現(xiàn)性精度為前提的優(yōu)化技術(shù)

花崗巖參考支架

• 采用材質(zhì)分布均勻的花崗巖為計量參考支架，外加通過優(yōu)化設(shè)計確保熱膨脹誤差的準(zhǔn)確補償，從而將振動造成的測量誤差減到最小。

測量環(huán)境條件變化的實時誤差補償

• 四個溫度變化測量傳感器和一個氣壓變化傳感器

測量系統(tǒng)噪音極低，精度高

• 采用TMC設(shè)計 的主動抗振系統(tǒng)，以獲得隔振測量環(huán)境

自動調(diào)心調(diào)平

• 全自動測量，提供極為穩(wěn)定而精確的測量結(jié)果

計量方法：

使用一個有效口徑為220 mm的球形設(shè)計工件進(jìn)行研究測試。將球形工件放在儀器的旋轉(zhuǎn)平臺上，首先將工件軸與轉(zhuǎn)臺軸對正進(jìn)行測量，然后再平移一定的距離進(jìn)行離軸球面的測量。 這種使用一個偏離軸10mm的球面來代表自由曲面的測試方法，其優(yōu)點是可以直接將測試結(jié)果與已知面形誤差的精加工球面進(jìn)行比較。