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CIF-SEM 掃描電鏡等離子清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

一、產品概述:

掃描電鏡等離子清洗機是一款專為掃描電子顯微鏡(SEM)樣品準備而設計的高效清洗設備。該機利用等離子體技術,通過活性氣體的激發,去除樣品表面的有機污染物和微塵,確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質量成像。掃描電鏡等離子清洗機具有快速、均勻的清洗效果,并能夠處理各種材料,包括金屬、陶瓷和聚合物等。其自動化控制系統使得操作簡單便捷,廣泛應用于材料科學、納米技術和生物醫學等領域,為研究人員提供可靠的樣品處理解決方案。

CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

二、設備用途/原理

·設備用途

掃描電鏡等離子清洗機主要用于準備掃描電子顯微鏡(SEM)樣品,去除樣品表面的有機污染物、微塵和其他雜質。它廣泛應用于材料科學、納米技術和生物醫學等研究領域,以確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質量成像。

·工作原理

該設備通過等離子體技術進行清洗。首先,等離子清洗機將特定的氣體(如氧氣或氬氣)引入反應室,并通過高頻電源激發氣體形成等離子體。等離子體中的活性粒子與樣品表面的污染物反應,分解并去除這些雜質。該過程能夠快速且均勻地清洗各種材料,確保樣品表面達到所需的清潔度,從而提高掃描電子顯微鏡的成像質量和分析準確性。

三、主要技術指標:

產品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40(CF40)

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調,


遠程等離子源,自動匹配器

氣體控制

標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

電源/功率

220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min

質量保證

二年質保,終身維護

四、產品特點

1.遠程等離子清                                  

2.清洗快速、高效                        

3.低轟擊損傷 




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