TESCAN VEGA掃描電鏡SEM是TESCAN第 四代產品中的一員，配置的無物鏡光闌鏡筒， 實現超大視野、高分辨及大景深成像，并且便于優 化電子束參數，實現優化成像觀察和分析應用。

在TESCAN的Essence™操作軟件中，結合 了掃描電子顯微鏡成像和實時元素分析。這種組合 大大簡化了從樣品中獲取形貌和元素數據的過程， 提供了質量控制、失效分析和實驗室常規材料檢驗 的有效得分析解決方案。

配置新穎的Essence™三維演示功能，保證了 樣品運動時樣品室內探測器的安全。

安全便捷的SingleVac™模式

SingleVac™模式主要用于直接觀察未進行噴 鍍的不導電樣品或是對電子束敏感樣品，這個功能 已經成為了 TESCAN VEGA掃描電鏡SEM的標配功能。 不需要安裝壓差光闌，一鍵就可以切換高低真空模 式，操作簡易且不存在誤操作的可能性。

SingleVac™也可以搭配可選的UniVac™模 式，對于有更多需求的使用者而言，可以對樣品室 低真空進行持續調整，最高可達500 Pa,用于 樣品進行成像和分析。VEGA還能夠提供客戶一款 真空緩沖器(Vacuum Buffer),它可以顯著減少 旋轉泵的運行時間，實現生態效益和經濟效益。

•  SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

•  8 nm @ 3 kV

•  超大觀察視野，最大可達50 mm

•  強大的低倍性能，為大樣品的觀察和定位提 供了便利

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，輕松地從成像切換到元素分析操作

•  不需安裝壓差光闌，一鍵實現高真空到 SingleVac™低真空模式的切換，并實現低 真空模式下的大視野

•  可選配TESCAN 一體化EBIC, CL等諸多 探測器和第三方分析擴展附件