場發射掃描電子顯微鏡工作環境：

1電壓：100-240V（-6%，+10%）

2工作溫度：20±3 ℃

3 相對濕度：< 80%

4 震動和磁場需由廠家裝機前測試并給出報告

 主要技術性能指標：

1       電子光學：

1.1   發射源：高分辨肖特基場發射電子槍。

1.2   加速電壓：200V – 30kV。

1.3 放大倍數：6× - 2,500,000×。

1.4 電鏡內設計有壓差真空系統，保護低真空/環境真空下電子槍，延長壽命。

1.5 大的電子束束流：1pA -200nA 連續可調，保證能譜高效工作。

2       真空系統

2.1   1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵+2個離子泵

2.2 集成的離子泵備用電池（用于意外斷電保護）

2.2   高真空模式：＜6×10^-4 Pa （測試導電樣品或噴金處理樣品）

2.3 低真空模式：10 – 200 Pa （直接測試不導電樣品）

2.4 環境真空模式：10 – 4000 Pa （測試含水分樣品）

2.5 高真空模式下的換樣時間：≤3.5min

2.6 環境真空模式下的換樣時間：≤4.5min

3       分辨率

場發射掃描電子顯微鏡獨立的高真空探測器，分辨率指標

3.1   高真空分辨率30 kV下1.0 nm (二次電子)

3.2 高真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射電子)

3.3 高真空分辨率1 kV下3.0 nm (二次電子)

獨立的低真空探測器

3.4 低真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次電子)

3.5 低真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射電子)

3.6 低真空分辨率3 kV下3.0 nm (背散射電子)

獨立環境真空探測器

3.7環境真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次電子)

4       樣品室

4.1 樣品室內寬：340mm

4.2 分析工作距離：10 mm

4.3   樣品室紅外CCD相機：1個

4.4   多可升級12個探測器或附件接口      

5       樣品臺

5.1   樣品臺類型：五軸全自動U中心對中樣品臺，同時保留五軸手動功能

5.2 行程：X：110 mm，Y：110 mm ，Z：65 mm，

5.4 旋轉R=n×360^o，傾斜T=-15^o/+90^o

5.3 多功能樣品臺，存放標準樣品臺 (?12 mm)平面18個，斜面3個，同時提供2個斷面夾具

5.4 樣品大安全高度≥85mm

6      圖象處理及系統控制……

7      循環冷卻系統……